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New Product 【RoHS対応】

自動バタフライバルブ・BV-Nシリーズ

 1台で台分の働きをします

 ◇ 弁開度が0度~45度と90度(全開)の2位置で作動させることができるので、1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます。

◆ 通常の全閉(フルクローズ)と全開(フルオープン)用エアーシリンダに加えて、弁開度を0度~45 度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階の構造です。

 

フランジ内のストッパーを廃止

 ◇ フランジ内のストッパーを廃止することにより、弁体閉時に発生する衝撃力並びに静止時常に加わる力が低減されたので、寿命の向上並びにコンダクタンスが向上しました。

 

ダブル エアーシリンダ方式を採用

 ◇ ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。

◆ バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。

◇ バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室(弁体閉側シリンダ室のピストン裏側)につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。

◇  この機構によりアシスト室に十分な空気が供給(排出)される前にピストン運動が始まりますので、弁体開(閉)時には、アシスト室内の圧力は負(加)圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します

 

従来の自動バタフライバルブと交換可能、採用しやすい価格

 ◇ 従来の自動バタフライバルブと同寸法のため即交換できます。

◆ 2台分の価格よりはるかにお得な価格なので、排気系のコストダウンになります。

 

<主な仕様>

フランジ形式 JIS・NW・ISO・CF 口径 34~391(mm)
リーク量 1×10-9Pam3/s以下 接ガス部材質 SUS304
使用領域 105~10-6Pa 作動空気圧 0.4~0.6MPa G
ディスクシール バイトンOリング 付 属 品 開閉表示板付
軸シール バイトンOリング2段    

 ※ 開閉表示用マイクロスイッチを標準装備(フルクローズとフルオープンの2接点のみ)

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談下さい。

富士本社工場
〒412-0046 静岡県駿御殿場市保土沢1162-1
TEL:0550-80-5200  FAX:0550-80-5205
E-mail fujitech@fujitechnology.co.jp
Home Page http://www.fujitechnology.co.jp/wordpress/wordpress

 

 

 

 

 

 

 

単位: mm

型式 BV-1AXON BV-2AXON BV-2.5AXON BV-3AXON BV-4AXON BV-6AXON BV-8AXON BV-10AXON BV-14AXON
商品    コード 10205□□ 10207□□ 10208□□ 10209□□ 10210□□ 10211□□ 10212□□ 10213□□ 10215□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257 355
C 58 88 105 120 145 190 250 302 402
D 90 120 145 160 185 235 300 350 450
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 420
G 32 51 64 79 101 154 206 253 354
H 100 130 155 170 195 245 315 375 465
J 55 70 83 90 103 128 165 200 240
K 40 70 85 100 120 175 225 275 380
L 170 170 200 200 200 270 350 380 584
M 55 55 55 55 55 69 90 100 135
N 9.5 9.5 9.5 9.5 9.5 12.5 23.5 31.5 55
P 5 5 5 5 5 5 8 8 8
Q 40 40 47 47 47 70 93 105 136
R 60 60 60 60 60 88 130 145 180
S V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V380
T 56 56 61 61 61 79 108 123 185
U 18 18 20 20 20 22 23 23 37
V Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
W Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
基準価格 \ 96,000 108,000 120,000 132,000 168,000 210,000 360,000 432,000 720,000

 

 BV-JIS-AXON  シリーズ寸法図 

注1.上記は、旧JIS B2290 真空装置用フランジに準拠したフランジです。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

            

 984-0071-1

 

 

単位: mm 

型式 BV-NW40AXON BV-NW50AXON BV-NW63AXON BV-NW80AXON BV-NW100AXON
商品コード 10224□□ 10225□□ 10226□□ 10227□□ 10228□□
A 40 40 40 60 60
B 34 52 65 80 102
C 55 75 87 114 134
D 0 25 56 44 78
E 85 109 129 150 176
F 55 70 83 90 103
G 170 170 200 200 200
H 40 40 47 47 47
J 56 56 61 61 61
K 18 18 19.5 20 20
基準価格 \ 114,000 126,000 145,000 156,000 192,000

 

 BV-NW-AXON  シリーズ寸法図

注1.取付は弊社マルチクランプを御使用下さい。弊社以外のクランプを使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取付かない場合があります。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。 

984-0072-1

 

 

単位: mm

型式 BV-ISO40AXON BV-ISO50AXON BV-ISO63AXON BV-ISO80AXON BV-ISO100AXON BV-ISO160AXON BV-ISO200AXON BV-ISO250AXON
商品    コード 10965□□ 10966□□ 10967□□ 10967□□ 10968□□ 10970□□ 10971□□ 10972□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ7 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 20 45 59 74 97 144 199 249
H 130 130 155 170 195 245 315 375
J 70 70 83 90 103 128 165 200
L 170 170 200 200 200 270 350 380
M 55 55 55 55 55 69 90 100
N 9.5 9.5 9.5 9.5 9.5 12.5 23.5 31.5
Q 40 40 47 47 47 70 93 105
R 60 60 60 60 60 88 130 145
T 56 56 61 61 61 79 108 123
U 18 18 20 20 20 22 23 23
V Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
W Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
基準価格 \ 106,000 119,000 132,000 146,000 185,000 232,000 396,000 476,000

 

BV-ISO-AXON  シリーズ寸法図

注1.上記は、ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

994-0052-2

 

    

単位: mm

型式 BV-CF40AXON BV-CF63AXON BV-CF100AXON BV-CF160AXON BV-CF200AXON BV-CF250AXON
商品コード 10940□□ 10942□□ 10944□□ 10945□□ 10947□□ 10948□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 102 155 208 257
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n-E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 20 45 97 144 199 249
H 100 130 195 245 315 375
J 55 70 103 128 165 200
L 170 170 200 270 350 380
M 55 55 55 69 90 100
N 9.5 9.5 9.5 12.5 23.5 31.5
Q 40 40 47 70 93 105
R 60 60 60 88 130 145
T 56 56 61 79 108 123
U 18 18 20 22 23 23
V Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
W Rc1/8 Rc1/8 Rc1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
基準価格 \ 106,000 119,000 185,000 232,000 396,000 476,000

 

BV-CF-AXON  シリーズ寸法図

 

注1.上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakabule flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。

注2.CF40には、漏れ探し溝はありません。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

994-0053-2

                                                                      

<BV-AXONシリーズの各部名称>

 

 弁開度の調整方法 <調整方法>

上図の右側部分図のようにシリンダ2からエンドフランジを引き出すことにより、弁開度を0°~45°の範囲で調整することができます。

 エンドフランジの引き出し量:Yと弁開度の関係を表-1に示します。この表は計算値をもとに作成してありますので、実際の弁開度とは異なる場合がありますので御注意下さい。

 表-1                                    (単位:mm)

型式  45°  30°  15°  5°  0°
BV-1~4AXON 0 3.1 6.3 8.4 9.4
BV-6AXON 0 4.6 8.8 11.6 13.0
BV-8AXON 0 7.8 15.6 20.9 23.5
BV-10AXON 0 10.5 21.0 28.0 31.5
BV-14AXON 0 18.3 36.7 48.9 55.0

 

*  弁開度0°は、シリンダ2の調整であり、シリンダ1の開閉動作とは関係がありません。

*  引き出し量:Yは、エンドフランジ引き出し後、ロックナットを固定した時の寸法です。

 

エアー接続方法

圧力 0.4~0.6MPa Gのエアーを供給口a,b,cに接続して下さい。各供給口でのエアーのIN,OUTとバルブ動作の関係を表-2に示します。

    表-2

バルブ動作 供給口a 供給口b 供給口c
全閉 IN OUT OUT
全開 OUT IN 注)参照
中間停止 IN OUT IN

    注)INでもOUTでも可

944-0116_2

 

 


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