モータ直結駆動型・バタフライバルブ

MBV-ADⅡ-ARJシリーズ

 

モータ直結駆動型・バタフライバルブ「MBV-ADⅡ-M4-ARJシリーズ」は、高性能かつ汎用性の高いサーボモータシステムを利用したフルクローズ及びコンダクタンス制御用バルブです。
バルブディスク(弁体)の全閉、全開の他任意のポジションへの位置決めや、開閉速度の可変など多様な動作パターンを行うことができます。

<特長>

①フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で可能です。
②差圧状態(真空-大気圧)からオープンさせることができます。
③モータ直結駆動機構と高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
④制御方法により開度調整や速度調整など多彩な運転パターンが可能です。
(注1)
⑤大流量排気に適しており耐久性に優れています。
 FPD・OLED関連装置(コータシステム、貼り合わせ装置等)に最適です。
⑥角度表示インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
⑦制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、自動圧力
 制御バルブとしても使用できます。

  注1. バルブによって設定速度の最大値が決められています。お問合せ下さい。

タイプ MBV-AD-M4(三菱電機/MR-J4シリーズ)
MBV-ADⅡ-M4Br(モータ仕様:ブレーキ付)
口径       50A、65A、80A、100A、150A、200A、250
リーク量 1×10-9 Pam/s以下
使用領域 10~10-6 Pa
ディスクシール *1 EPDM Oリング
軸シール    *2 EPDM Oリング
接ガス部材質 SUS304
インジケータ 角度外部表示インジケータ付き
サーボアンプ付属 MR-J4-A-RJ(位置決めモード対応)
オプション 開閉検出フォトセンサ

*1,*2 EPDMを標準としておりますが用途に合わせて他の材質も選定できます。
    バイトン,FFKM=パーフロ等
* 本バルブの性能を維持するためには弁体Oリングの定期的な交換、弁シール部への定期的グリス
    アップが必要となります。

システムの構成

※バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。
※オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。

【 付属サーボアンプ寸法図 】  MR-J4-20A-RJ (50A~150Aに付属)

【 標準以外のモータ対応について 】

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。

 

単位:mm
型式 MBV-3ADⅡ-M4-ARJ MBV-4ADⅡ-M4-ARJ MBV-6ADⅡ-M4-ARJ MBV-8ADⅡ-M4-ARJ MBV-10ADⅡ-M4-ARJ
商品コード 10809□□ 10810□□ 10811□□ 10812□□ 10813□□
A 20 20 26 40 40
B 81 104 158 209 258
C 120 145 190 250 302
D 160 185 235 300 350
n—E 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15
F 135 160 210 270 320
G 80 102 154 206 254
H 413.5 439 503 639 689
J 101.5 114 140.5 176.5 201.5
K 78 91 116.5 148.5 173.5
L 93 93 98 132 132
M 141 141 148 182 182
N 150 150 160 225 225
P 100 120 175 225 275
Q 5 5 5 8 8
R 60 60 90 120 120
S 90 90 120 160 160
V V100 V120 V175 V225 V275

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS ADⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-ISO80ADⅡ-M4-ARJ MBV-ISO100ADⅡ-M4-ARJ MBV-ISO160ADⅡ-M4-ARJ MBV-ISO200ADⅡ-M4-ARJ MBV-ISO250ADⅡ-M4-ARJ
商品コード 10867□□ 10868□□ 10870□□ 10871□□ 10872□□
A 30 30 50 50 50
B 81 104 158 209 258
C 145 165 225 285 335
D 160 185 235 300 350
n—E 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 125 145 200 260 310
G 76 100 148 203 251
H 413.5 439 503 639 689
J 101.5 114 140.5 176.5 201.5
K 78 91 116.5 148.5 173.5
L 93 93 98 132 132
M 141 141 148 182 182
N 150 150 160 225 225
R 60 60 90 120 120
S 90 90 120 160 160

注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO ADⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-NW80ADⅡ-M4-ARJ MBV-NW100ADⅡ-M4-ARJ MBV-NW160ADⅡ-M4-ARJ
商品コード 10827□□ 10828□□ 10830□□
A 60 60 66
B 81 104 158
D 114 134 190
G 55 84 140
H 413.5 439 503
J 101.5 114 140.5
K 78 91 116.5
L 93 93 98
M 141 141 148
N 150 150 160
R 60 60 90
S 90 90 120

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-NW ADⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-3ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-4ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-6ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-8ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-10ADⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10809□□ 10810□□ 10811□□ 10812□□ 10813□□
A 20 20 26 40 40
B 81 104 158 209 258
C 120 145 190 250 302
D 160 185 235 300 350
n—E 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15
F 135 160 210 270 320
G 80 102 154 206 254
H 450.5 476 540 676 726
J 101.5 114 140.5 176.5 201.5
K 78 91 116.5 148.5 173.5
L 93 93 98 132 132
M 178 178 185 219 219
N 150 150 160 225 225
P 100 120 175 225 275
Q 5 5 5 8 8
R 60 60 90 120 120
S 90 90 120 160 160
V V100 V120 V175 V225 V275

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS ADⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-ISO80ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO100ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO160ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO200ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO250ADⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10867□□ 10868□□ 10870□□ 10871□□ 10872□□
A 30 30 50 50 50
B 81 104 158 209 258
C 145 165 225 285 335
D 160 185 235 300 350
n—E 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 125 145 200 260 310
G 76 100 148 203 251
H 450.5 476 540 676 726
J 101.5 114 140.5 176.5 201.5
K 78 91 116.5 148.5 173.5
L 93 93 98 132 132
M 178 178 185 219 219
N 150 150 160 225 225
R 60 60 90 120 120
S 90 90 120 160 160

注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO ADⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-NW80ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW100ADⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW160ADⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10827□□ 10828□□ 10830□□
A 60 60 66
B 81 104 158
D 114 134 190
G 55 84 140
H 450.5 476 540
J 101.5 114 140.5
K 78 91 116.5
L 93 93 98
M 178 178 185
N 150 150 160
R 60 60 90
S 90 90 120

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-NW ADⅡ-M4シリーズ寸法図

 


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