圧力制御(APC)についてのお問い合わせ

    ご依頼内容
    お客様のわかる範囲で
    記載をお願いします。
    型式 
    MOD No.
    図番
    台数
    回答納期
    希望納期
    貴社名
    貴部署名
    ご担当者名
    メールアドレス
    郵便番号
    住所
    TEL
    FAX

    該等する項目の ☐ 内にレ印を付けて下さい。また、必要事項をご記入下さい。

    1.使用装置 (CVD、スパッタ、PVD、FPD、OLED=有機EL、太陽電池、リチウムイオン電池等記入)
    2.圧力制御方法
    • ①目標圧力が一つ
      • Pa~Pa
    • ②目標圧力が二つ以上
      • a.いくつか
      • b.それぞれの目標値は何PaかPaPaPaPa
      • c.ランプ機能を使用するか(時間・目標圧の設定)

    3.制御目標圧力範囲 Pa ~ Pa
    4.APC開始圧力 Paから
    5.真空計種類(使用数量) 種類:
    6.到達真空度 Pa
    7.制御圧力安定度 %以下(標準仕様は FSの0.1%以下)
    8.使用ガスの種類
    9.ガス流量 sccm MFC(mass flow controller)使用:
    10.排気ポンプの種類

    • 排気速度:
    • 排気速度:
    • 排気速度:
    11.装置稼働時間 h/day ,
    12.使用温度 バルブ部:センサ部:
    13.使用方法 真空計:
    オプション:
    14.製品構成  () () () ()
    15.コンダクタンスデータ

    計算値による近似コンダンクタンスデータの提出が可能です。
    3. 制御目標圧力範囲,  9.ガス流量,  10.排気ポンプ(排気速度)の3種類の項目を必ずご記入下さい。

    16.その他
    添付ファイル

    ※3MB、Word、Excel、PDF、ZIPファイルが送信できます。その他ファイルは圧縮して添付してください。

    画像に表示されている文字を入力してください captcha