■ご依頼内容 (必須)
■お客様のわかる範囲で記載をお願いします。
 型式  MOD No.  
 図番  台数    
 回答期限  製品納期  
■貴社名 (必須)
 
■貴部署名
 
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 〒
■住所
 
■TEL
 
■FAX
 

* 該等する項目の ☐ 内にレ印を付けて下さい。また、(  )内に必要事項をご記入下さい。

1.使用装置
 
(CVD、スパッタ、PVD、FPD、OLED=有機EL、太陽電池、リチウムイオン電池等記入)
2.圧力制御方法

   ①目標圧力が一つ( Pa ~ Pa )
   ②目標圧力が二つ以上
    a.いくつか
    b.それぞれの目標値は何Paか Pa Pa Pa Pa
    c.ランプ機能を使用するか (時間 ・ 目標圧の設定)
3.制御目標圧力範囲
  Pa ~ Pa
4.APC開始圧力
 ,  Paから
5.真空計種類(使用数量)
 種類: 
6.到達真空度
  Pa
7.制御圧力安定度
  %以下 (標準仕様は FSの0.1%以下)
8.使用ガスの種類

(Ar,He,N2 等)
9.ガス流量
  sccm 
MFC(mass flow controller)使用: 

10.排気ポンプの種類

:
  排気速度:
  排気速度:
  排気速度:
11.装置稼働時間
  h/day ,
12.使用温度
 バルブ部: ℃ ,  センサ部:
13.使用方法

   →

   → 真空計


   → オプション 
14.製品構成





15.コンダクタンスデータ
計算値による近似コンダンクタンスデータの提出が可能です。3. 制御目標圧力範囲,  9.ガス流量,  10.排気ポンプ (排気速度)の3種類の項目を必ずご記入下さい。
16.その他

添付ファイル(3MB、ZIPまたはLZHファイルのみ送信できます)

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