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New Product 【RoHS対応】

新型 自動圧力2軸制御システムコントローラ

MBV-LD-MP/APC ・ MEX-LD-MP/APCシリーズ

FPC-131

 

 

☆  1台のコントローラで2台までのコントロールバルブを制御できます。(オプション:3台以上も対応可)

☆  通常は2台の真空計からの信号により2台のコントロールバルブを個別に制御しますが、1台の真空計を使った同期制御への切換えも可能です。

☆  自動圧力制御とマルチポジション制御の両方を兼ね備えており、任意のポジションから目標とする圧力へと速くスムーズな圧力制御ができます。

☆  最大4セグメント(ステップ)のプログラムをコントロールバルブ毎に作成することができ、より細かい圧力設定が可能です。

☆  停電対策仕様標準装備

     オプションのUPS電源を追加することで、停電対策が可能となります。(停電時、バルブは自動的に全閉位置に移動します。)

☆  本システムに使用する当社バルブは完全シールできますので、圧力を自動制御するだけでなく排気ラインのフルクローズができます。

 

 【 システム系統図 】

  

 

  〈参考基準セット価格〉 

名  称 型  式 1軸コントロール 2軸コントロール
数量  基準価格(円) 数量  基準価格(円)
コントローラ(コネクタ変換機付) FPC-131 360,000 360,000
バルブ(サーボアンプ付) MBV-1LD-MP-R 213,000 426,000
MOT/ENCケーブル RP9135-010(L=1.0m) 8,500 17,000
ADP ケーブル RP9050-010(L=1.0m) 6,500 13,000
パラレル接続 ケーブル RP9120-030(L=3.0m) 6,500 13,000
  合 計 594,500 合 計 829,000


【 システム構成 】

 1. コ ン ト ロ ー ラ 「 FPC-131」

真空計の出力信号(0~10DCVリニア出力)を自動的に演算してコントロールバルブを高速かつ正確に動作させ、安定した制御を実現することができます。

型 式 FPC-131
コントロール制御方式 PID方式
入力電源・消費電流 DC24V ・ 3A(Max)  (真空計電源は別途ご用意ください。)
最大分解能 センサー(真空計)FSの 0.1%
外観寸法 寸法図参照
機 能

① 現在圧力の表示、目標圧力の設定・表示や、PID制御のパラメータ設定などをタッチパネルで簡単に行うことができます。

② タッチパネルのスイッチ切り換えにより、外部信号の入力及び外部への出力がおこなえるリモート操作が可能です。

③ 圧力コントロール以外に、タッチパネルでマルチポジションの設定や動作が可能です。                        (全閉・全開の他に最大14ポジション)

④ サーボモータシステムのトラブル発生時にはアラームを出力します。(ALARMランプ点灯)

オプション

・停電対策用 UPS電源(コントローラ接続用専用ケーブル付)

・CC-Link 対応

2.真 空 計

真空計は、現在お使いになっている市販品をそのままご利用頂く事が可能です、アナログ信号出力(0~+10DCVリニア出力)の仕様を使用して下さい。

 

3.コ ン ト ロー ル バ ル ブ 

使用するバルブは、当社のモータ駆動バタフライバルブ「MBV-LD-MPシリーズ」または、マルチポジション・コンパクトゲートバルブ「MEX-LD-MPシリーズ」から仕様に合わせたタイプを選定して下さい。

【主な仕様】  

  バタフライバルブMBV-LD-MP ゲートバルブMEX-LD-MP
リーク量 1×10-9Pa・m3/s以下 1×10-10Pa・m3/s以下
使用領域 大気圧(10⁵)~10-6Pa 大気圧(10⁵)~10-6Pa
接ガス部材質 SUS304
駆動方式 ACサーボモータ(エンコーダ内蔵)
入力電源・消費電流 DC24V ・ 3.2 A 
ディスクシール バイトン Oリング
軸シール バイトン Oリング
使用真空グリス シリコングリス or フォンブリングリス フォンブリングリス
耐熱温度  本体 :150℃
 モータ : 40℃
サイズ(口径) 25 ~ 250 70 ~ 400
フランジタイプ JIS ISO CF KF(NW) JIS ISO CF 

◇バルブの詳細仕様、寸法等に関しては、「MBV-LD-MPシリーズ」又は「MEX-LD-MPシリーズ」のカタログをご参照下さい。

◇「MBV-LD-MP」バルブは、リーケージタイプ(制御専用/弁体シールなし)の製作も可能です。

 

【寸法図】 

コントローラ 『 F P C - 1 3 1 』

No 名  称 (機能) No 名  称 (機能) No  名  称 (機能)
1 タッチパネル 5 SENS1(コネクタ) 9 SENSMON2(コネクタ)
2 POWER(スイッチ) 6 SENS2(コネクタ) 10 FUSE(ヒューズ)
3 DC24V(端子台) 7 REMOTE(コネクタ) 11 UPS(コネクタ)
4 DC±15V(端子台) 8 SENSMON1(コネクタ) 12 グロメット

 

【オプション】


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