圧力制御(APC)についてのお問い合わせ

ご依頼内容
お客様のわかる範囲で
記載をお願いします。
型式 
MOD No.
図番
台数
回答期限
製品納期
貴社名
貴部署名
ご担当者名
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郵便番号
住所
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FAX

該等する項目の ☐ 内にレ印を付けて下さい。また、必要事項をご記入下さい。

1.使用装置 (CVD、スパッタ、PVD、FPD、OLED=有機EL、太陽電池、リチウムイオン電池等記入)
2.圧力制御方法
  • ①目標圧力が一つ
    • Pa~Pa
  • ②目標圧力が二つ以上
    • a.いくつか
    • b.それぞれの目標値は何PaかPaPaPaPa
    • c.ランプ機能を使用するか(時間・目標圧の設定)

3.制御目標圧力範囲 Pa ~ Pa
4.APC開始圧力 Paから
5.真空計種類(使用数量) 種類:
6.到達真空度 Pa
7.制御圧力安定度 %以下(標準仕様は FSの0.1%以下)
8.使用ガスの種類
9.ガス流量 sccm MFC(mass flow controller)使用:
10.排気ポンプの種類

  • 排気速度:
  • 排気速度:
  • 排気速度:
11.装置稼働時間 h/day ,
12.使用温度 バルブ部:センサ部:
13.使用方法 真空計:
オプション:
14.製品構成  () () () ()
15.コンダクタンスデータ

計算値による近似コンダンクタンスデータの提出が可能です。
3. 制御目標圧力範囲,  9.ガス流量,  10.排気ポンプ(排気速度)の3種類の項目を必ずご記入下さい。

16.その他
添付ファイル

※3MB、ZIPまたはLZHファイルのみ送信できます。

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