モータ直結駆動型・バタフライバルブ

 

MBV-ADⅡシリーズ

 

モータ直結駆動型・バタフライバルブ「MBV-AD-M3シリーズ」は、高性能かつ汎用性の高いサーボモータシステムを利用したフルクローズ及びコンダクタンス制御用バルブです。

バルブディスク(弁体)の全閉、全開の他任意のポジションへの位置決めや、開閉速度の可変など多様な動作パターンを行うことができます。

 

<特長>

①   フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で可能です。

②   差圧状態(真空-大気圧)からオープンさせることができます。

③   モータ直結駆動機構と高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。

④   制御方法により開度調整や速度調整など多彩な運転パターンが可能です。(注1)

⑤   大流量排気に適しており耐久性に優れています。FPD関連装置(コータシステム、貼り合わせ装置)に最適です。

⑥   角度表示インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。

 

注1.    バルブによって設定速度の最大値が決められています。お問合せ下さい。

    <主な仕様>

  タイプ   MBV-ADⅡ-M3(三菱電機/MR-J3シリーズ)
  口径   80A、100A、150A、200A、250A
  リーク量   1×10-9 Pam3/s以下
  使用領域   105~10-6 Pa
  ディスクシール *1   EPDM Oリング
  軸シール    *2   EPDM Oリング
  接ガス部材質   SUS304
  インジケータ   角度外部表示インジケータ付き
  オプション   開閉検出フォトセンサ

*1、*2 EPDMを標準としておりますが用途に合わせて他の材質も選定できます。
* 本バルブの性能を維持するためには弁体Oリングの定期的な交換、弁シール部への定期的
      グリスアップが必要となります。

<システム接続例>

備考: 三菱電機(株)製サーボアンプシステムには、上記以外に複数の制御方式があります。

アンプシステムはお客様にて仕様に合ったものをご選定下さい。

 

単位:mm
型式 MBV-3ADⅡ-M3 MBV-4ADⅡ-M3 MBV-6ADⅡ-M3 MBV-8ADⅡ-M3 MBV-10ADⅡ-M3
商品コード 10809□□ 10810□□ 10811□□ 10812□□ 10813□□
A 20 20 26 40 40
B 80 102 155 208 257
C 120 145 190 250 302
D 160 185 235 300 350
n—E 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15
F 135 160 210 270 320
G 79 101 154 206 253
H 413.5 439 503 639 689
J 101.5 114 140.5 176.5 201.5
K 78 91 116.5 148.5 173.5
L 93 93 98 132 132
M 141 141 148 182 182
N 150 150 160 225 225
P 100 120 175 225 275
Q 5 5 5 8 8
R 60 60 90 120 120
S 90 90 120 160 160
V V100 V120 V175 V225 V275


              注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。
              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。


フジ・テクノロジーのバルブ

精密機械加工業者募集

精密機械加工業者を募集しております。
お問い合わせフォームからご連絡ください

VACUUM 2018 – 真空展 出展

総合カタログダウンロード

サイト内検索


Back to Top ↑