バタフライバルブ・AXOⅡシリーズ

- より高性能・長寿命で価格は据置きです -

高性能

◇ 新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。 

 

特許機構のダブルシリンダ方式を採用(ニューマチックタイプ)

◇ ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらに

    エアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。

◆ バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。

◇ バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室(弁体閉側シリンダ室のピストン裏側)につな

    がっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。

◆ この機構によりアシスト室に十分な空気が供給(排出)される前にピストン運動が始まりますので、

    弁体開(閉)時には、アシスト室内の圧力は負(加)圧となり、アシスト室がエアークッションの働き

    をして衝撃力を緩和します。

 

従来のバタフライバルブと即交換可能並びに同価格

◇ 従来のバタフライバルブと同寸法のため即交換できます。

◆ 価格も従来のバタフライバルブと同じで、コストパフォーマンスに優れています。

 

【 主な仕様 】

  フランジ形式   JIS・NW・ISO・CF     口径   34~391(mm)
  リーク量   1×10-9Pam3/s以下   接ガス部材質    SUS304
  使用領域   105~10-6Pa   作動空気圧    0.4~0.6MPa G G 
  ディスクシール   バイトンOリング   付属品    開閉表示板付 
  軸シール   バイトンOリング2段    

※ 開閉表示用マイクロスイッチを標準装備(自動バタフライバルブAXO 型)
※ 本バルブの性能を維持するためには弁体Oリングの定期的な交換、弁シール部への定期的
     グリスアップが必要となります。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談下さい。

 

 

単位:mm
型式 BV-1AXOⅡ BV-2AXOⅡ BV-2.5AXOⅡ BV-3AXOⅡ BV-4AXOⅡ BV-6AXOⅡ BV-8AXOⅡ BV-10AXOⅡ BV-12AXOⅡ BV-14AXOⅡ BV-16AXOⅡ
商品コード 10905□□ 10907□□ 10908□□ 10909□□ 10910□□ 10911□□ 10912□□ 10913□□ 10914□□ 10915□□ 10916□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45 50 65
B 34 52 68 81 104 158 209 258 308 357 398
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352 402 458
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400 450 520
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15 12-φ15 12-φ19
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370 420 480
G 33 52 67 80 102 154 206 254 303 354 393
H 138 168.5 198 212 237.5 299 380 446 496 552 632
J 55 70 83 90.5 103 127.5 165 200 225 240 285
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5 224 259
L 170 170 200 200 200 270 350 380 380 584 584
M 40 40 47 47 47 70 93 105 105 136 136
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325 380 430
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8 8 8
R 55 55 61 61 61 79 107.5 123.5 123.5 185 185
S 15.5 15.5 19.5 19.5 19.5 22 23 23 23 37 37
T Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
U 4 4 4 4 4 4 4 4 4 5 5
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325 V380 V430
基準価格\ 80,000 90,000 100,000 110,000 140,000 175,000 300,000 360,000 500,000 600,000 1,000,000


              注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

単位:mm
型式 BV-ISO40AXOⅡ BV-ISO50AXOⅡ BV-ISO63AXOⅡ BV-ISO80AXOⅡ BV-ISO100AXOⅡ BV-ISO160AXOⅡ BV-ISO200AXOⅡ BV-ISO250AXOⅡ
商品コード 10965□□ 10966□□ 10967□□ 10967□□ 10968□□ 10970□□ 10971□□ 10972□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 20 45 59 74 97 144 199 249
H 168.5 168.5 198 212 237.5 299 380 446
J 70 70 83 90.5 103 127.5 165 200
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 170 170 200 200 200 270 350 380
M 40 40 47 47 47 70 93 105
R 55 55 61 61 61 79 107.5 123.5
S 15.5 15.5 19.5 19.5 19.5 22 23 23
T Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
基準価格\ 88,000 99,000 110,000 121,000 154,000 193,000 330,000 396,000


              注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

 

単位:mm
型式 BV-
CF40AXONⅡ
BV-
CF63AXONⅡ
BV-
CF100AXONⅡ
BV-
CF160AXONⅡ
BV-
CF200AXONⅡ
BV-
CF250AXONⅡ
商品コード 10940□□ 10942□□ 10944□□ 10945□□ 10947□□ 10948□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 102 155 208 257
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 20 45 97 144 199 249
H 138 168.5 237.5 299 380 446
J 55 70 103 127.5 165 200
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 170 170 200 270 350 380
M 40 40 47 70 93 105
R 55 55 61 79 107.5 123.5
S 15.5 15.5 19.5 22 23 23
T Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4 Rc1/4 Rc1/4
基準価格\ 88,000 99,000 154,000 193,000 330,000 396,000


              注1. 上記は、ISO/TS 3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準

                          拠したフランジです。

              注2. CF40には、漏れ探し溝はありません。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

 

単位:mm
型式 BV- NW40AXOⅡ BV- NW50AXOⅡ BV- NW63AXOⅡ BV- NW80AXOⅡ BV- NW100AXOⅡ BV- NW160AXOⅡ
商品コード 10924□□ 10925□□ 10926□□ 10927□□ 10928□□ 10930□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 65 80 102 155
D 55 75 87 114 134 190
G 0 25 56 44 78 143
H 138 168.5 198 212 237.5 299
J 55 70 83 90.5 103 127.5
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 170 170 200 200 200 270
M 40 40 47 47 47 70
R 55 55 61 61 61 79
S 15.5 15.5 19.5 19.5 19.5 22
T Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rp1/8 Rc1/4
基準価格\ 95,000 105,000 120,000 130,000 160,000 200,000

              注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの
                          形状によりバルブが取り付かない場合があります。
              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

手動スロットルバタフライバルブ・手動レバーハンドル式バタフライバルブ_AXシリーズ

- コストパフォーマンスに優れています-

コンダクタンスでの有利性

バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバ
ルブは、真空装置用バルブの中で最も配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。
この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。

 

手動スロットルバタフライバルブ(SBVM型)

◇ ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが
    可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます。
    また操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです。

◆ 真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良で
    あるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが
    必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとし
    ての特徴を発揮します。

 

手動レバーハンドルバタフライバルブ(BVM型)

◇ 弁体と直結したレバーハンドルを90度回すことにより開閉ができ、ワンタッチで素早くできるため、取り扱いやす
       いバルブです。

 

<主な仕様>

  フランジ形式   JIS・NW・ISO・CF (SBVM)     口径   25A~250A (SBVM)
  JIS・NW_ (BVM)   25A~150A (BVM)
  リーク量   1×10-9Pam3/s以下   接ガス部材質    SUS304
  使用領域   105~10-6Pa   付 属 品    開閉表示機構付
  ディスクシール   バイトンOリング   オプション    マイクロスイッチ
  軸シール   バイトンOリング2段   角度表示板・ハンドルロック

※ SBVM型は、弁体の開度を確認できる、角度表示板(角度メモリ付)及び弁体中間位置を確実に固定でき
    るロック機構付がオプションとして取付できます。(図-1)
※ 開閉表示用マイクロスイッチをオプションにて取付できます。(図‐2)
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談下さい。

 

 

単位:mm
型式 SBVM-1AXⅡ SBVM-2AXⅡ SBVM-2.5AXⅡ SBVM-3AXⅡ SBVM-4AXⅡ SBVM-6AXⅡ SBVM-8AXⅡ SBVM-10AXⅡ
商品コード 10605□□ 10607□□ 10608□□ 10609□□ 10610□□ 10611□□ 10612□□ 10613□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 58 88 105 120 145 190 250 302
D 90 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320
G 32 51 64 79 101 154 206 253
H 127.5 158 183.5 201.5 227 288 370 436
J 59 74 86.5 101 113.5 138.5 176 201
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 157 157 157 178 198 235 294 294
M 80 80 95 90 130 150 144 144
P 40 70 85 100 120 175 225 275
Q 5 5 5 5 5 5 8 8
R 20 20 20 27.5 27.5 35 35 35
S 16 16 16 16 16 20 25 25
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275
基準価格\ 80,000 90,000 100,000 115,000 145,000 180,000 290,000 350,000


              注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

単位:mm
型式 SBVM-
ISO40AXⅡ
SBVM-
ISO50AXⅡ
SBVM-
ISO63AXⅡ
SBVM-
ISO80AXⅡ
SBVM-
ISO100AXⅡ
SBVM-
ISO160AXⅡ
SBVM-
ISO200AXⅡ
SBVM-
ISO250AXⅡ
商品コード 10665□□ 10666□□ 10667□□ 10667□□ 10668□□ 10670□□ 10671□□ 10672□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 20 45 59 74 97 144 199 249
H 158 158 183.5 201.5 227 288 370 436
J 74 74 86.5 101 113.5 138.5 176 201
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 157 157 157 178 198 235 294 294
M 80 80 95 90 130 150 144 144
R 20 20 20 27.5 27.5 35 35 35
S 16 16 16 16 16 20 25 25
基準価格\ 88,000 99,000 110,000 121,000 154,000 193,000 330,000 396,000


              注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

 

単位:mm
型式 SBVM- CF40AXⅡ SBVM- CF63AXⅡ SBVM- CF100AXⅡ SBVM- CF160AXⅡ SBVM- CF200AXⅡ SBVM- CF250AXⅡ
商品コード 10640□□ 10642□□ 10644□□ 10645□□ 10647□□ 10648□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 102 155 208 257
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 20 45 97 144 199 249
H 127.5 158 227 288 370 436
J 59 74 113.5 138.5 176 201
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 157 157 198 235 294 294
M 80 80 130 150 144 144
R 20 20 27.5 35 35 35
S 16 16 16 20 25 25
基準価格\ 88,000 99,000 154,000 193,000 330,000 396,000

 

              注1. 上記は、ISO/TS 3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準
                          拠したフランジです。
              注2. CF40には、漏れ探し溝はありません。
              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

単位:mm
型式 SBVM-NW40AXⅡ SBVM-NW50AXⅡ SBVM-NW63AXⅡ SBVM-NW80AXⅡ SBVM-NW100AXⅡ
商品コード 10624□□ 10625□□ 10626□□ 10627□□ 10628□□
A 40 40 40 60 60
B 34 52 65 80 102
D 55 75 87 114 134
G 0 25 56 44 78
H 127.5 158 183.5 201.5 227
J 59 74 86.5 101 113.5
K 43 58.5 71.5 78 91
L 157 157 157 178 198
M 80 80 95 90 130
R 20 20 20 27.5 27.5
S 16 16 16 16 16
基準価格 \ 95,000 105,000 120,000 135,000 165,000


              注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの

                        形状によりバルブが取り付かない場合があります。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

 

単位:mm
型式 BVM-1AXⅡ BVM-2AXⅡ BVM-2.5AXⅡ BVM-3AXⅡ BVM-4AXⅡ BVM-6AXⅡ
商品コード 10405□□ 10407□□ 10408□□ 10409□□ 10410□□ 10411□□
A 20 20 20 20 20 26
B 34 52 65 80 102 155
C 58 88 105 120 145 190
D 90 120 145 160 185 235
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12
F 70 100 120 135 160 210
G 32 51 64 79 101 154
H 149 179.5 205 220 245.5 292
J 77 92 104.5 113 125.5 154.5
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 62 62 61 61 60.5 113
M 80 80 85 88 114 145
N 90 105 117.5 125 138 197
P 40 70 85 100 120 175
Q 5 5 5 5 5 5
R 15 15 15 15 15 14
S 62 62 62 62 62 115
T 25 25 25 25 25 30
V V40 V70 V85 V100 V120 V175
基準価格\ 70,000 80,000 90,000 95,000 115,000 160,000


              注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

単位:mm
型式 BVM-NW40AXⅡ BVM-NW50AXⅡ BVM-NW63AXⅡ BVM-NW80AXⅡ BVM-NW100AXⅡ
商品コード 10424□□ 10425□□ 10426□□ 10427□□ 10428□□
A 40 40 40 60 60
B 34 52 65 80 102
D 55 75 87 114 134
G 0 25 56 44 78
H 149 179.5 205 220 245.5
J 77 92 104.5 113 125.5
K 43 58.5 71.5 78 91
M 80 80 85 88 114
L 62 62 61 61 60.5
N 90 105 117.5 125 138
基準価格\ 85,000 95,000 110,000 115,000 135,000


              注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの

                        形状によりバルブが取り付かない場合があります。

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。


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