モータ駆動バタフライバルブ

MBV-LDⅡ-MP シリーズ

 

長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

 

1.長寿命  50万~100万サイクル

2.低価格  低価格で自動圧力制御ができます。

3.高性能  高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用

4.高機能  フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。

                      モータ位置を選択できます。(4位置)

                                                                              ◇選べる4つのタイプ

MBV-LD-MP-R MBV-LD-MP-L
MBV-LD-MP-F MBV-LD-MP-B

 

【 特徴 】

◇ フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。

◆ 差圧状態(真空-大気圧)からオープンさせることができます。

◇ 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。

◆ 全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。
    ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。

◇ 制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。

◆ 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。

◇ モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペース
    を有効活用できます。

◆ フルクローズ(全閉)位置検出用フォトセンサを標準装備

 

【 主な仕様 】

 フランジ形式  JIS ・ ISO ・ CF ・ NW  口   径  25A ~ 300A
 リーク量  1×10-9 Pa・m3/s 以下  電源仕様  動力:DC 24V(最大 3.0A )
 制御:DC 24V(最大 0.2A )
 使用領域  105 ~ 10-6 Pa
 ディスクシール  バイトンOリング  制御方式  ACサーボ方式
 軸シール  バイトンOリング2段  接ガス部材質  SUS304

  ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
  ※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。

 

【 システムの構成 】

  ※バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。
  ※オプション品につきましては、別紙「購入ガイド」にてご確認下さい。

 

【 付属サーボアンプ寸法図 】

 

【 標準以外のモータ対応について 】

  標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。
  対応例 : 三菱電機製 ACサーボモータ MR-J3シリーズ、MR-J4シリーズ等
                 安川電機製 ACサーボ Σ-Ⅴシリーズ、Σ-7シリーズ等

 

 

単位:mm
型式 MBV-1LDⅡ- MP-( ) MBV-2LDⅡ- MP-( ) MBV-2.5LDⅡ- MP-( ) MBV-3LDⅡ- MP-( ) MBV-4LDⅡ- MP-( ) MBV-6LDⅡ- MP-( ) MBV-8LDⅡ- MP-( ) MBV-10LDⅡ- MP-( ) MBV-12LDⅡ- MP-( )
商品コード 10705□□ 10707□□ 10708□□ 10709□□ 10710□□ 10711□□ 10712□□ 10713□□ 10714□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45
B 34 52 65 80 102 155 208 257 307
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370
G 32 51 64 79 101 154 206 253 303
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388 455 505 555
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254 279
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85 85
M 245 245 246 246 246.5 264 292 292.5 292.5
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8
R 100 100 100 100 100 110 110 110 110
S 22 22 22
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325

              注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。

              注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

単位:mm
型式 MBV- ISO40LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO50LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO63LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO80LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO100LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO160LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO200LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO250LDⅡ- MP-( )
商品コード 10765□□ 10766□□ 10767□□ 10767□□ 10768□□ 10770□□ 10771□□ 10772□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 20 45 59 74 97 144 199 249
H 259 259 284.5 298.5 324 388 455 505
J 130.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85
M 245 245 246 246 246.5 264 292 292.5
R 100 100 100 100 100 110 110 110
S 22 22

              注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

              注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

 

単位:mm
型式 MBV- CF40LDⅡ- MP-( ) MBV- CF63LDⅡ- MP-( ) MBV- CF100LDⅡ- MP-( ) MBV- CF160LDⅡ- MP-( ) MBV- CF200LDⅡ- MP-( ) MBV- CF250LDⅡ- MP-( )
商品コード 10740□□ 10742□□ 10744□□ 10745□□ 10747□□ 10748□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 102 155 208 257
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 20 45 97 144 199 249
H 228.5 259 324 388 455 505
J 115.5 130.5 163 194 229 254
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 55 70 85 85
M 245 245 246.5 264 292 292.5
R 100 100 100 110 110 110
S 22 22

 

              注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準
                          拠したフランジです。
              注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
              注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。
              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

 

単位:mm
型式 MBV- NW40LDⅡ- MP-( ) MBV- NW50LDⅡ- MP-( ) MBV- NW63LDⅡ- MP-( ) MBV- NW80LDⅡ- MP-( ) MBV- NW100LDⅡ- MP-( ) MBV- NW160LDⅡ- MP-( )
商品コード 10724□□ 10725□□ 10726□□ 10727□□ 10728□□ 10730□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 65 80 102 155
D 55 75 87 114 134 190
G 0 25 56 44 78 143
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 55 55 49 49 55 70
M 245 245 246 246 246.5 264
R 100 100 100 100 100 110

 

              注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの
                         形状によりバルブが取り付かない場合があります。
              注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
              ※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

モータ駆動・バタフライバルブ(MBV-LDⅡ-MP) マルチボジション方式購入ガイド

 

モータ駆動・バタフライバルブ「MBV-LDⅡ-MP」を付属のサーボアンプに、全閉・全開以外のポジション設定を最大14ポジション
登録することで、シーケンサなど上位システムから信号を送り、任意のポジションへ速くスムーズに開度調整する事が出来ます。
ポジション設定を行うには、A. パソコンソフト又は B. ティーチングボックスのオプション部品購入が必要となります。

A. パソコンソフトによるポジション設定方式の場合                                                        B. ティーチングボックスによるポジション設定方式の場合

                                          

 

1.共通の購入・選定部品

No  図中No 部   品   名 説  明  /  備  考
1  (1) 制御バルブ(サーボアンプ付)  モータ駆動・バタフライバルブ「MBV-LDⅡ-MPシリーズ」より用途に合せてフランジ規格・口径を選択
2  (2) MOTENC延長ケーブル  バルブ-アンプ間には1mのケーブル付き。
 長さが1mでは不足の場合、延長する為のケーブルを別表(オプション選択部品リスト)より選択(別売)
3  (3) パラレル接続ケーブル  バルブへのポジション動作指令をシーケンスなどの上位システムより行う場合、又、主電源(DC
 24V)へ接続に使用するためのケーブル。長さは別表(オプション選択部品リスト)より選択(別売)

 

2.ポジション設定方式別 購入・選定部品(14ポジション設定用ツール・・・A. 又はB.の購入必要)

A. パソコンソフトによるポジション設定方式の場合

No  図中No 部   品   名 説  明  /  備  考
4  A. パソコン設定ソフト(セット)
「TBVST-FT-JP-SET」
   or    (日本語版)
「TBVST-FT-EN-SET」
         (英語版)
セットに含まれるもの   ( )内数字は数量
①CDソフト・TBVST-FT-JP(orEN) (1)  ②変換機・ADP-1 (1)
③SIOケーブル_4120602(1m) (1)  ④コネクタ変換機・ADP-2-4 (1)
⑤ADPケーブル_4122402(1m) (1)
*③、⑤は、セットの1Mでは長さが不足の場合、別表(オプション選択部品リスト)より選択(別売)

B. ティーチングボックスによるポジション設定方式の場合

No  図中No 部   品   名 説  明  /  備  考
5  B. ティーチングBOX セットに含まれるもの   ( )内数字は数量
①ティーチングBOX (1)  ②ADPケーブル_4122402(1m) (1)
*②は、セットの1mでは長さが不足の場合、別表(オプション選択部品リスト)より選択(別売)

 

Option
1.MOT/ENC 延長ケーブル(セット)	
  バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。
型 式 長さ(L)
 MOT/ENC延長ケーブル_4122202 (1m) 1m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122204 (2m) 2m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122206 (3m) 3m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122208 (4m) 4m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122210 (5m) 5m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122218 (9m) 9m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122220 (10m) 10m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122230 (15m) 15m
 MOT/ENC延長ケーブル_4122240 (20m) 20m
                  
( MOT )モータ延長ケーブル
( ENC ) エンコーダ延長ケーブル
2.パラレル接続ケーブル
  サーボアンプに電源を供給するためのケーブルです。
型 式 長さ(L)
 パラレル接続ケーブル_4122306 (3m) 3m
 パラレル接続ケーブル_4122310 (5m) 5m
 パラレル接続ケーブル_4122320 (10m) 10m
                  
3.-1 PCソフト(セット)
型 式 備 考
 TBVST-FT-JP-SET_4122042 日本語表示
 TBVST-FT-EN-SET_4122044 英語表示
【PCソフト 標準セット付属品】
 ① ADP-1(変換アダプタ) ② ADP-2-4(コネクタ変換機)
 ③ SIOケーブル (1m)  ④ ADPケーブル (1m)

 

                  
PCソフト   ①
  ②
  ③
  ④
3.-2 ティーチングボックス
型 式 備 考
 CTA-23-SET_4122070 デジタル表示
【ティーチングボックス 標準セット付属品】
 ① ADPケーブル (1m)
                  
ティーチングボックス   ①
※  3.-1及び3.-2共通オプション 標準セット付属ケーブル(1m)で接続長さ不足の場合は、下記
   ケーブル長さを選定して下さい。(別売品)
SIOケーブル
型 式 長さ(L)
 SIOケーブル_4120604 (2m) 2m
 SIOケーブル_4120606 (3m) 3m
 SIOケーブル_4120610 (5m) 5m
ADPケーブル
型 式 長さ(L)
 ADPケーブル_4122406 (3m) 3m
 ADPケーブル_4122410 (5m) 5m
 ADPケーブル_4122420 (10m) 10m
                  
 
 
 
 
 

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