電磁真空バルブ〈真空パイロット方式〉

品 名 電磁真空バルブ
型 式 ELV-2 ELV-2F ELV-2NW25 EBV-1 EBV-1F EBV-1NW25
口 径(mm) φ25 φ25
作動方式 真空パイロット方式バネ復帰
開放コンダクタンス
(L/s)
7.3 1.2×10 1.2×10 7.3 1.2×10 1.2×10
リーク量
(Pa・m3/s)
1×10-8以下(バルブ本体部)
使用領域(Pa) 10~10-1 10~10-4

本体 SUS304
パッキング 二トリルOリング
軸シール 二トリルOリング
特記仕様
リークバルブ機能を内蔵し、電源のON、OFF
で時間差をもってバルブが開閉します。
電源のON、OFFのみでバルブが開閉しま
す。リークバルブ機能がありませんから大気
圧がバルブ内に入ることがありません。
取扱い留意点
油回転ポンプに直接取付けるか、油拡散ポン
プおよびタ-ボ分子ポンプの背圧側に直接又
は配管途中に取付け電源は油回転ポンプと
連動させて下さい。
バルブの取付け姿勢に制限はありませんが、
真空ポンプ側と被排気側の接続を間違えない
ようにして下さい。
真空ポンプ接続穴をナイロンパイプなどで油
回転ポンプと接続して真空に引き、電源をON
にするとバルブは開放し、O F Fにするとスプ
リング力により閉鎖します。真空に引いていな
いと開放しません。
 

 

1. 電磁弁の使用電圧はA C100 V、又は200 V用を標準としていますがD C 用もできますのでご
        注文時にはご指定下さい。

2. バルブの片側は袋ナット方式で取付フランジなど附属品は各種とりそろえてありますからご利用下
       さい。

3. コンダクタンス値はオリフィス補正をしてあります。

4. 設定時間差( 油回転ポンプの排気速度:150 L/min使用時)……ELV型のみ

       電源O N で(真空ポンプ始動)リークバルブ即時閉鎖・その後バルブ開。

       電源OFFで( 真空ポンプ停止)バルブ即時閉鎖・リークバルブ約2sec後開放。

5. 本仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

 

ELV シリーズ

  単位(mm)
  A B PCD T t d
ELV-2F50 36 50 42 8 0.15 5
ELV-2F70 42 70 50 8 0.2 10
ELV-2F80 48 80 60 10 0.2 10

ELV-2F90

58

90

70

10

0.2

10

 
 
 
  994-0011

 

 

 

 

 

 

 

 

EBV シリーズ

 

  単位(mm)

 

A

B

PCD

T

t

d

EBV-1F50

36

50

42

8

0.15

5

EBV-1F70

42

70

50

8

0.2

10

EBV-1F80

48

80

60

10

0.2

10

EBV-1F90

58

90

70

10

0.2

10

 
 
 
  034-0159

 

 

 

 

 

 

 

 

L型真空バルブ

 

1.特許機構によりバルブディスクのシール効果はいつも最良の状態にあります。

2.規格品として各種の形状のものがあります。

3.真空配管用部品が豊富にそろっています。

 

品  名

自動L型バルブ

手動L型バルブ

小型手動L型バルブ

型  式

LBV

LV

LV-10S

口  径(mm)

φ25

φ25

φ6

フランジ形状

パイプ(φ27)

パイプ(φ10)

JIS

特型

NW25

NW10

エアーシリンダー

単動バネ復帰

―――

―――

ハンドル

―――

アルミ合金黒色アルマイト

黒色樹脂成形丸型

ストローク

15

15

開放コンダクタンス(L/s)

7.3

7.3

0.2

リーク量(Pa・m/s)

1×10-8以下

使用領域(Pa)

10~10-5

本体

SUS304

パッキング

二トリルOリング

軸シール

二トリルOリング

リミットスイッチ

オプション

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1. 単動バネ復帰のものは常時閉鎖式です。

2. エアーシリンダーの所要空気圧は0.4 MPa・G です。

3. エアー切換用の電磁弁は単動式には3方口、複動式には4方口または5方口を御使用下さい。

4. 本表以外の特殊仕様品( 大口径、材質変更、耐圧など)も製作可能ですからご相談下さい。

5. 真空バルブ用附属品( 接続フランジ、マルチクランプ、配管用部品など)が各種取り揃えてあり
ますからご利用下さい。

6. コンダクタンス値はオリフィス補正をしてあります。

7. 本仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

 

LBV シリーズ

  単位(mm)

 

A

B

PCD

T

t

d

LBV-1F50

36

50

42

8

0.15

5

LBV-1F70

42

70

50

8

0.2

10

LBV-1F80

48

80

60

10

0.2

10

LBV-1F90

58

90

70

10

0.2

10

 
 
 
  994-0023

 

 

 

 

 

 

 

LV シリーズ

  単位(mm)

 

A

B

PCD

T

t

d

LV-1F50

36

50

42

8

0.15

5

LV-1F70

42

70

50

8

0.2

10

LV-1F80

48

80

60

10

0.2

10

LV-1F90

58

90

70

10

0.2

10

 
 
 
  994-0024

 

 

 

 

LV-10S シリ-ズ

 

 

034-0163        

 

自動リークバルブLEV型

 

 

品   名

リークハルブ

形   式 

LEV-3

LEV-3NW25

LEV-5

LEV-5NW25

 ロ 径(mm)

φ4

バルブ機能

ノーマルオープン 

ノーマルクローズ

作 動 方 式

ニューマチックバネ復帰

リーク量(Pa・m/s)

1×10-8以下   

使用領域(Pa)

10~10-5

接続方式

φ15ゲージポート用

NW25用

特型フランジ

NW25用

 

1.エアーシリンダーの所要空気圧は0.4MPa・Gです。

2. 本仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

034-0164        

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