圧力制御用DCモータ バタフライバルブ 

MBV-SDⅡ-D24 シリーズ

長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

1.長寿命  100万サイクル

2.低価格  低価格で自動圧力制御ができます。

3.高性能  高性能DCモータ・新ドライブ機構を採用

4.高機能  リーケージ仕様 (*注1)・多段位置制御・自動圧力制御ができます。

               最小コンダクタンスを可能とする弁Oリング付き締め代O仕様の対応も可能です。

5.最小口径 20A NW25サイズより対応可能です。 同封

 

【 特 徴 】

◇ ローコスト対応バルブMBV-SDⅡ-D24シリーズは、弁体Oリングが付いていないコンダクタンス制御専用のモータ駆動バタフライバルブです。

◇ オプションのデュアル圧力制御コントローラ FPC-181Sを使用することで弁体を全閉、全開およびそれ以外の任意の14ポジションにおいて停止・保持させることや真空計からの信号で自動圧力制御ができます。

◇ バルブの開口面積を多段階に変化させることが可能となり、真空容器内の一定圧力保持およびバルブの前後の圧力可変や、排気コンダクタンスの可変など幅広い用途に使用できます。

 

主な仕様

フランジ形式 JIS・ISO・CF・NW 口   径 20A ~ 100A
リーク量 1×10-9 Pa・m/s 以下 電源仕様 モータバルブ容 量  24W主電源  DC24V(定格電流1.5A)
使用領域 10 ~ 10-6 Pa
ディスクシール なし 制御方式 DCモータ方式
軸シール バイトンOリング2段 接ガス部材質 SUS304

≪APCモード≫

システム系統図-1


【システム系統図-2】

≪MPAモード≫

システム系統図-3

名 称 ・ 型  式 1軸コントロール 2軸コントロール
数量 数量
コントローラ FPC-181S(設定用ソフト付属)
バルブ(アンプ内臓型)MBV-SDⅡ-D24 1 2
ケーブル類    
① SPT-Dケーブル_4123314(L=2.0m)
② アナログ入出力ケーブル_4123315(L=3.0m) 1 or 2
③ REMOTE I/F Fケーブル_4123337(3.0m) 1

 

単位:mm
型式 MBV-1SDⅡ-M4-ARJ MBV-2SDⅡ-M4-ARJ MBV-2.5SDⅡ-M4-ARJ MBV-3SDⅡ-M4-ARJ MBV-4SDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10805□□ 10807□□ 10808□□ 10809□□ 10810□□
A 20 20 20 20 20
B 34 52 68 81 104
C 58 88 105 120 145
D 90 120 145 160 185
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12
F 70 100 120 135 160
G 33 52 67 80 102
H 255.5 286 311.5 325.5 351
J 104.5 119.5 132 139.5 152
K 43 58.5 71.5 78 91
L 90 90 90 90 102
P 40 70 85 100 120
V V40 V70 V85 V100 V120
注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

MBV-JIS SDⅡ-D24シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-ISO40SDⅡ-D24 MBV-ISO50SDⅡ-D24 MBV-ISO63SDⅡ-D24 MBV-ISO80SDⅡ-D24 MBV-ISO100SDⅡ-D24
商品コード 10865□□ 10866□□ 10867□□ 10867□□ 10868□□
A 30 30 30 30 30
B 34 52 68 81 104
C 100 110 130 145 165
D 120 120 145 160 185
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9
F 80 90 110 125 145
G 23 47 62 76 100
H 286 286 311.5 325.5 351
J 119.5 119.5 132 139.5 152
K 58.5 58.5 71.5 78 91
L 90 90 90 90 102
注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

MBV-ISO SDⅡ-D24シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-CF40SDⅡ-D24 MBV-CF63SDⅡ-D24 MBV-CF100SDⅡ-D24
商品コード 10840□□ 10842□□ 10844□□
A 30 30 30
B 34 52 104
C 69.4 113.5 151.6
D 90 120 185
n—E 6-M6 8-M8 16-M8
F 58.7 92.1 130.2
G 23 47 100
H 255.5 286 351
J 104.5 119.5 152
K 43 58.5 91
L 90 90 102
注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. CF40には、漏れ探し溝はありません。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

MBV-CF SDⅡ-D24シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-NW25SDⅡ-D24 MBV-NW40SDⅡ-D24 MBV-NW50SDⅡ-D24 MBV-NW63SDⅡ-D24 MBV-NW80SDⅡ-D24 MBV-NW100SDⅡ-D24
商品コード 10822□□ 10824□□ 10825□□ 10826□□ 10827□□ 10828□□
A 40 40 40 40 60 60
B 23 34 52 68 81 104
D 40 55 75 87 114 134
G 0 0 36 56 55 84
H 245.5 255.5 286 311.5 325.5 351
J 99.5 104.5 119.5 132 139.5 152
K 38 43 58.5 71.5 78 91
L 90 90 90 90 90 102
注1. NW25サイズについては、全閉可能なフルクローズタイプを準備しています。
注2. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

MBV-NW SDⅡ-D24シリーズ寸法図

 


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