PATENTED

モータ駆動バタフライバルブ

MBV-LDⅡ-M4-ARJ シリーズ


長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

1.長寿命  50万~100万サイクル
2.低価格  低価格で自動圧力制御ができます。
3.高性能  高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用
4.高機能  フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。
       モータ位置を選択できます。(4位置)

 

  ◇選べる4つのタイプ  
MBV-LDⅡ-M4-R MBV-LDⅡ-M4-L
MBV-LDⅡ-M4-F MBV-LDⅡ-M4-B

【 特徴 】

 ◇フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。

 ◆差圧状態(真空-大気圧)からオープンさせることができます。

 ◇高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。

 全閉・全開の他、最大13ポジションの任意の位置に停止させることができます。
  ポジショニング設定は、オプションのサーボ支援ソフトウェアで簡単に行えます。

 ◇制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、自動圧力制御バルブ
  としても使用できます。

 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。

 ◇モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペース
  を有効活用できます。

 フルクローズ(全閉)位置検出用フォトセンサを標準装備

 ◇オプションでブレーキ付きモータ仕様も対応可能です。(型式:MBV-LDⅡ-M4Br-ARJ)

主な仕様

フランジ形式 JIS・ISO・CF・NW 口   径 25A ~ 300A
リーク量 1×10-9 Pa・m/s 以下 電源仕様 主電源 AC200V(定格電流1.5A)制御電源AC200V(定格電流0.2A)インターフェイス用電源 DC24V(最大500mA)
使用領域 10 ~ 10-6 Pa
ディスクシール バイトンOリング 制御方式 ACサーボ方式
軸シール バイトンOリング2段 接ガス部材質 SUS304

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。

 

システムの構成


※ バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。
※ オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。

 

【 付属サーボアンプ寸法図 】

【 標準以外のモータ対応について 】

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。

 

単位:mm
型式 MBV-1LDⅡ-M4-ARJ MBV-2LDⅡ-M4-ARJ MBV-2.5LDⅡ-M4-ARJ MBV-3LDⅡ-M4-ARJ MBV-4LDⅡ-M4-ARJ MBV-6LDⅡ-M4-ARJ MBV-8LDⅡ-M4-ARJ MBV-10LDⅡ-M4-ARJ MBV-12LDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10705□□ 10707□□ 10708□□ 10709□□ 10710□□ 10711□□ 10712□□ 10713□□ 10714□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45
B 34 52 68 81 104 158 209 258 308
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370
G 33 52 67 80 102 154 206 254 303
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388 455 505 555
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254 279
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85 85
M 227 227 228 228 228.5 246 246.5 247 247
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8
R 100 100 100 100 100 110 110 110 110
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS LDⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-ISO40LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO50LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO63LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO80LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO100LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO160LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO200LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO250LDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10765□□ 10766□□ 10767□□ 10767□□ 10768□□ 10770□□ 10771□□ 10772□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 68 81 104 158 209 258
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 23 47 62 76 100 148 203 251
H 259 259 284.5 298.5 324 388 455 505
J 130.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85
M 227 227 228 228 228.5 246 246.5 247
R 100 100 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO LDⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-CF40LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF63LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF100LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF160LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF200LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF250LDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10740□□ 10742□□ 10744□□ 10745□□ 10747□□ 10748□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 104 158 209 258
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 23 47 100 148 203 251
H 228.5 259 324 388 455 505
J 115.5 130.5 163 194 229 254
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 55 70 85 85
M 227 227 228.5 246 246.5 247
R 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-CF LDⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-NW40LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW50LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW63LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW80LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW100LD-M4-ARJ MBV-NW160LD-M4-ARJ
商品コード 10724□□ 10725□□ 10726□□ 10727□□ 10728□□ 10730□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 68 81 104 158
D 55 75 87 114 134 190
G 0 36 56 55 84 140
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 55 55 49 49 55 70
M 227 227 228 228 228.5 246
R 100 100 100 100 100 110

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-NW LDⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-1LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-2LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-2.5LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-3LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-4LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-6LDⅡ-M4Br -ARJ MBV-8LDⅡ-M4Br -ARJ MBV-10LDⅡ-M4Br -ARJ MBV-12LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10705□□ 10707□□ 10708□□ 10709□□ 10710□□ 10711□□ 10712□□ 10713□□ 10714□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45
B 34 52 68 81 104 158 209 258 308
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370
G 33 52 67 80 102 154 206 254 303
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388 455 505 555
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254 279
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85 85
M 263.5 263.5 264.5 264.5 265 282.5 283 283.5 283.5
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8
R 100 100 100 100 100 110 110 110 110
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-ISO40LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO50LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO63LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO80LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO100LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO160LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO200LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO250LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10765□□ 10766□□ 10767□□ 10767□□ 10768□□ 10770□□ 10771□□ 10772□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 68 81 104 158 209 258
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 23 47 62 76 100 148 203 251
H 259 259 284.5 298.5 324 388 455 505
J 130.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85
M 263.5 263.5 264.5 264.5 265 282.5 283 283.5
R 100 100 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-CF40LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF63LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF100LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF160LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF200LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF250LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10740□□ 10742□□ 10744□□ 10745□□ 10747□□ 10748□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 104 158 209 258
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 23 47 100 148 203 251
H 228.5 259 324 388 455 505
J 115.5 130.5 163 194 229 254
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 55 70 85 85
M 263.5 263.5 265 282.5 283 283.5
R 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-CF LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-NW40LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW50LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW63LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW80LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW100LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW160LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10724□□ 10725□□ 10726□□ 10727□□ 10728□□ 10730□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 68 81 104 158
D 55 75 87 114 134 190
G 0 36 56 55 84 140
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 55 55 49 49 55 70
M 263.5 263.5 264.5 264.5 265 282.5
R 100 100 100 100 100 110

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-NW LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

 


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