モータ駆動バタフライバルブ

MBV-SDⅡ-M4-ARJ シリーズ


長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

1.長寿命  100万サイクル
2.低価格  低価格で自動圧力制御ができます。
3.高性能  高性能サーボモータ・サーボアンプ・新ドライブ機構を採用
4.高機能  リーケージ仕様 (*注1)・多段位置制御・自動圧力制御ができます。

       
最小コンダクタンスを可能とする弁Oリング付き締め代O仕様の対応も可能です。
5.最小口径 20A NW25サイズより対応可能です。(20A NW25サイズは全閉シール可能なOリング付き
       仕様も対応可能です)

【 特 徴 】

◇ ローコスト対応バルブMBV-SDⅡ-M4-ARJシリーズは、弁体Oリングが付いていないコンダクタンス制御専用
  のモータ駆動バタフライバルブです。
◇ 弁体の駆動源には汎用性の高い三菱電機製のサーボモータを使用しており、弁体を全閉、全開およびそれ以
  外の任意のポジションにおいて停止・保持させることができます。
◇ バルブの開口面積を多段階に変化させることが可能となり、真空容器内の一定圧力保持およびバルブの前後
  の圧力可変や、排気コンダクタンスの可変など幅広い用途に使用できます。
◇ 中間停止のポジションは、あらかじめパソコンソフトやサーボアンプ本体で設定し、最大13ポジションまで
  記憶させておくことができます。
◇ PLCなどの上位システムから信号を送ることにより、設定したポジションに再現性良く停止します。
◇ オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラをFPCシリーズと組み合わせることにより、自動圧力
  制御を始め、多彩な制御が可能になります。

主な仕様

フランジ形式 JIS・ISO・CF・NW 口   径 20A ~ 100A
リ ー ク 量 1×10-9 Pa・m/s 以下 電 源 仕 様 主電源  AC200V(定格電流1.5A)制御電源AC200V(定格電流0.2A)インターフェイス用電源 DC24V(最大500mA)
使 用 領 域 10 ~ 10-6 Pa
ディスクシール なし 制 御 方 式 ACサーボ方式
軸 シ ー ル バイトンOリング2段 接ガス部材質 SUS304

システムの構成

※バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。
※オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。
*注)1. リーケージ仕様 (弁体シール機構なし)


【 付属サーボアンプ寸法図 】

【 標準以外のモータ対応について 】

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。

*オプションのデュアル圧力制御コントローラ
を接続することで、APCとしても使用可能です。
  【 2軸システム構成 】

 

単位:mm
型式 MBV-1SDⅡ-M4-ARJ MBV-2SDⅡ-M4-ARJ MBV-2.5SDⅡ-M4-ARJ MBV-3SDⅡ-M4-ARJ MBV-4SDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10805□□ 10807□□ 10808□□ 10809□□ 10810□□
A 20 20 20 20 20
B 34 52 68 81 104
C 58 88 105 120 145
D 90 120 145 160 185
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12
F 70 100 120 135 160
G 33 52 67 80 102
H 222.5 253 278.5 292.5 318
J 102.5 117.5 130 137.5 150
K 43 58.5 71.5 78 91
L 90 90 90 90 102
P 40 70 85 100 120
V V40 V70 V85 V100 V120

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS SDⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-ISO40SDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO50SDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO63SDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO80SDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO100SDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10865□□ 10866□□ 10867□□ 10867□□ 10868□□
A 30 30 30 30 30
B 34 52 68 81 104
C 100 110 130 145 165
D 120 120 145 160 185
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9
F 80 90 110 125 145
G 23 47 62 76 100
H 253 253 278.5 292.5 318
J 117.5 117.5 130 137.5 150
K 58.5 58.5 71.5 78 91
L 90 90 90 90 102

注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO SDⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ MBV-CF40SDⅡ-M4-ARJ MBV-CF63SDⅡ-M4-ARJ MBV-CF100SDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10840□□ 10840□□ 10842□□ 10844□□
A 30 30 30 30
B 23 34 52 104
C 69.4 69.4 113.5 151.6
D 80 90 120 185
n—E 6-M6 6-M6 8-M8 16-M8
F 58.7 58.7 92.1 130.2
G 0 23 47 100
H 212.5 222.5 253 318
J 97.5 102.5 117.5 150
K 38 43 58.5 91
L 90 90 90 102

注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. CF40には、漏れ探し溝はありません。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-CF SDⅡ-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
型式 MBV-NW25SDⅡ-M4-ARJ MBV-NW40SDⅡ-M4-ARJ MBV-NW50SDⅡ-M4-ARJ MBV-NW63SDⅡ-M4-ARJ MBV-NW80SDⅡ-M4-ARJ MBV-NW100SDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10822□□ 10824□□ 10825□□ 10826□□ 10827□□ 10828□□
A 40 40 40 40 60 60
B 23 34 52 68 81 104
D 40 55 75 87 114 134
G 0 0 36 56 55 84
H 212.5 222.5 253 278.5 292.5 318
J 97.5 102.5 117.5 130 137.5 150
K 38 43 58.5 71.5 78 91
L 90 90 90 90 90 102

注1. NW25サイズについては、全閉可能なフルクローズタイプを準備しています。
注2. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-NW SDⅡ-M4シリーズ寸法図

 


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