PATENTED

モータ駆動・コンパクトゲートバルブ

MEX-LD-M4-ARJ シリーズ


当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れたゲートバルブです。

1.低価格  低価格で自動圧力制御ができます。
2
.高性能  高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用
3
.高機能  フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。
       モータ位置を選択できます。(3位置)

◇選べる3つのタイプ

     
MEX-LD-M4-R MEX-LD-M4-L MEX-LD-M4-F

【 特長 】

◆ フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来ます。
◇ 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
◆ 全閉・全開の他、最大13ポジションの任意の位置に停止させることができます。
  ポジショニング設定は、オプションのサーボ支援ソフトウェアで簡単に行えます。
◇ 制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、自動圧力制御バルブ
  としても使用できます。
◆ 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
◇ モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペース
  を有効活用できます。
◆ オプションで全閉・全開位置検出用フォトセンサを装備できます。

主な仕様

フランジ形式 JIS・ISO・CF 口   径 70 ~ 400(mm)
リーク量 ハウジング 1×10-11 Pa・m/s 以下 電 源 仕 様 主電源  AC200V(定格電流1.5A)制御電源AC200V(定格電流0.2A)インターフェイス用電源 DC24V(最大500mA)
バルブシート 1×10-10 Pa・m/s 以下
使 用 領 域 10 ~ 10-6 Pa 制 御 方 式 ACサーボ方式
ステムシール バイトンOリング 主 要 材 質 SUS304

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

 

システムの構成

※ バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。
※ オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。

 

【 付属サーボアンプ寸法図 】

【 標準以外のモータ対応について 】

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。

 

単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 350 400
商品コード 16709□□ 16710□□ 16711□□ 16712□□ 16713□□ 16714□□ 16714□□ 16715□□
型式 MEX-80JIS-LD-M4-ARJ MEX-100JIS-LD-M4-ARJ MEX-150JIS-LD-M4-ARJ MEX-200JIS-LD-M4-ARJ MEX-250JIS-LD-M4-ARJ MEX-300JIS-LD-M4-ARJ MEX-350JIS-LD-M4-ARJ MEX-400JIS-LD-M4-ARJ
A 70 70 80 80 85 85 100 100
B 80 100 150 200 250 300 350 400
D 160 185 235 300 350 400 450 520
n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16
F 14 14 14 15 16 16 18 18
G 135 160 210 270 320 370 420 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 916 1023
J 150 150 192 254 305 356 433 483
L 227 227 227 244 244 244 244 244
M 105 105 105 116 120 121 128 129
Q 174 174 174 192 196 197 204 205
R 110 110 110 140 140 140 140 140
T 180 180 235 308 380 430 512 560
U 158 158 210 284 348 402 480 528
V 60 60 60 60 72 72 80 82
W 79 79 99 135 165 190 231 255

注1. 上記は、旧JIS B2290 真空装置用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(3位置より選択)
注3. 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4. バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MEX-JIS-LD-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 400
商品コード 16767□□ 16768□□ 16770□□ 16771□□ 16772□□ 16773□□ 16774□□
型式 MEX-80ISO-LD-M4-ARJ MEX-100ISO-LD-M4-ARJ MEX-150ISO-LD-M4-ARJ MEX-200ISO-LD-M4-ARJ MEX-250ISO-LD-M4-ARJ MEX-300ISO-LD-M4-ARJ MEX-400ISO-LD-M4-ARJ
A 70 70 80 80 85 85 100
B 80 100 150 200 250 300 400
C 83 102 153 213 261 318 400
D 145 165 225 285 335 425 510
n—E 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10 12-M12 16-M12
F 14 14 14 15 16 16 18
G 125 145 200 260 310 395 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 1023
J 150 150 192 254 305 356 483
L 227 227 227 244 244 244 244
M 105 105 105 116 120 121 129
Q 174 174 174 192 196 197 205
R 110 110 110 140 140 140 140
T 180 180 235 308 380 430 560
U 158 158 210 284 348 402 528
V 60 60 60 60 72 72 82
W 79 79 99 135 165 190 255

注1. 上記は、ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(3位置より選択)
注3. 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4. バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MEX-ISO-LD-M4シリーズ寸法図

 

単位:mm
口径 70 100 150 200 250
商品コード 16743□□ 16744□□ 16745□□ 16746□□ 16747□□
型式 MEX-70CF-LD-M4-ARJ MEX-100CF-LD-M4-ARJ MEX-150CF-LD-M4-ARJ MEX-200CF-LD-M4-ARJ MEX-250CF-LD-M4-ARJ
CFフランジ呼び CF114 CF152 CF203 CF253 CF305
A 70 70 80 80 100
B 70 100 150 200 250
D 113.5 151.6 202.4 253.2 306
n—E 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 14 14 14 16 23
G 92.1 130.2 181 231.8 284
H 314.5 314.5 401.5 541 654
J 150 150 192 254 305
L 227 227 227 244 244
M 105 105 105 116 120
Q 174 174 174 192 196
R 110 110 110 140 140
T 180 180 235 308 380
U 158 158 210 284 348
V 60 60 60 60 72
W 79 79 99 135 165

注1. 上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(3位置より選択)
注3. 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4. バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。
本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MEX-CF-LD-M4シリーズ寸法図

 

Option

Multi Position Option

*MBV-AD Ⅱ -M4-ARJ/MBV-LD Ⅱ -M4-ARJ/MBV-SD Ⅱ -M4-ARJ共通オプション
 サーボアンプにポジションを設定して任意のポジションへバルブ弁体を動作させます。

1.ENCケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)
 バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。

形式 長さ(L)
ENCケーブル(負荷側)2m_4123500 2m
ENCケーブル(負荷側)5m_4123501 5m
ENCケーブル(負荷側)10m_4123502 10m
   
ENCケーブル(反負荷側)2m_4123505 2m
ENCケーブル(反負荷側)5m_4123506 5m
ENCケーブル(反負荷側)10m_4123507 10m
注)1.(負荷引出し/反負荷引出し)

2.MOT電源ケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)
 バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。

形式 長さ(L)
MOTケーブル(負荷側)2m_4123520 2m
MOTケーブル(負荷側)5m_4123521 5m
MOTケーブル(負荷側)10m_4123522 10m
   
MOTケーブル(反負荷側)2m_4123525 2m
MOTケーブル(反負荷側)5m_4123526 5m
MOTケーブル(反負荷側)10m_4123527 10m
*シールドケーブルではありません。

3.電磁ブレーキケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)(注1)
 電磁ブレーキ付サーボモータ用ケーブルです。

形式 長さ(L)
BLケーブル(負荷側)2m_4123540 2m
BLケーブル(負荷側)5m_4123541 5m
BLケーブル(負荷側)10m_4123542 10m
   
BLケーブル(反負荷側)2m_4123545 2m
BLケーブル(反負荷側)5m_4123546 5m
BLケーブル(反負荷側)10m_4123547 10m
*シールドケーブルではありません。

4.-1 REMOTE I/F Mケーブル(CN1用50P)(注2)
 サーボアンプへリモート入出力するためのケーブルです。

形式 長さ(L)
REMOTE I/F Mケーブル_4123340(1m) 1m
REMOTE I/F Mケーブル_4123341(2m) 2m
REMOTE I/F Mケーブル_4123342(3m) 3m
REMOTE I/F Mケーブル_4123343(4m) 4m
REMOTE I/F Mケーブル_4123344(5m) 5m

4.-2 REMOTE中継端子台 I/F Mケーブル(CN1用50P),中継端子台(MR-TB50)(注2)
 サーボアンプへリモート入出力するための中継ケーブルおよび端子台です。

形式 長さ(L)
MR-J2M-CN1 TBL05M_4123350 0.5m
MR-J2M-CN1 TBL1M_4123351 1m
中継端子台 MR-TB50_4123352(50P)  
サーボアンプコネクタ  中継端子コネクタ

中継端子台 50P

5.サーボ支援ソフトウェア
 サーボアンプにポジション設定するためのソフトウェアです。

形式 言語
SW1 DNC-MRC2-J_4123560 日本語版
SW1 DNC-MRC2-E_4123561 英語版

6.通信ケーブル
 PCとサーボアンプを接続するためのUSBケーブルです。

形式 長さ(L)
MR-J3USBCBL3M_4123562 3m
サーボアンプ mini-Bコネクタ  PC Aコネクタ

注)2. REMOTE I/F Mケーブルは、4.-1または4.-2が必要となります。

 


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