ニューマチック・コンパクトゲートバルブ

EX-XO シリーズ

 

当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れております。

【 特 長 】

◇ ダブルシリンダー方式を採用し、よりコンパクト・軽量化されました。
  さらにエアークッション効果により開閉はスムーズです。
◆ 独特のゲート機構は逆圧にも耐え、面間は超薄型です。(カムスプリングは使用していません。)
◇ クリーンルーム内で組立、検査しています。
◆ 価格は、よりお求めやすくなりました。

【 主な仕様 】

標準フランジ JIS ・ ISO ・ CF ・ KF(NW)
口   径 40 ~ 750 (mm)
リ ー ク 量
    ハウジング
    バルブシート
1×10-11 Pa m3/s 以下1×10-10 Pa m3/s 以下
使 用 領 域 10 ~ 10-6 Pa
主 要 材 質 SUS304
ステムシール バイトンOリング
駆 動 方 式 ニューマチック
作動空気圧 0.4 ~ 0.6 MPa G
開 閉 表 示 マイクロスイッチ付き (開/閉 各位置検出用)

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

 

単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550
商品コード 16409□□ 16410□□ 16411□□ 16412□□ 16413□□ 16414□□ 16414□□ 16415□□ 16415□□ 16416□□ 16416□□
形式 EX-80JIS-XO EX-100JIS-XO EX-150JIS-XO EX-200JIS-XO EX-250JIS-XO EX-300JIS-XO EX-350JIS-XO EX-400JIS-XO EX-450JIS-XO EX-500JIS-XO EX-550JIS-XO
A 70 70 80 80 85 85 100 100 150 150 150
B 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500 550
D 160 185 235 300 350 400 450 520 575 625 680
n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16 16-M16 16-M16 16-M16
F 135 160 210 270 320 370 420 480 535 585 640
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 916 1023 1170 1280 1394
J 165.5 165.5 207.5 273 327 378 457 507 535 620 680
L 235 235 235 305 381 381 514 514 632 632 632
N 79 79 79 107.5 113.5 113.5 129.5 129.5 170 170 170
Q 98 98 98 126 130 131 138 139 196 196 196
T 180 180 235 308 380 430 512 560 620 680 750
U 158 158 210 284 348 402 480 528 582 642 700
V 60 60 60 60 72 72 80 82 120 120 120
W 79 79 99 135 165 190 231 255 290 315 345
重量kg 11 12 22 42 58 70 110 140 260 310 365

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-JIS-XO  シリーズ寸法図

 

単位:mm
口径 40 50 65
商品コ-ド 16424□□ 16425□□ 16426□□
型式 EX-40KF-XO EX-50KF-XO EX-63KF-XO
A 40 50 65
B 55 75 87
D 191 228 228
E 118 130.5 130.5
F 40 50 50
G 96 120 120
H 86 111 111
重量kg 3.8 4.6 4.9

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

EX-KF-XO  シリーズ寸法図

 

単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 400 500
商品コード 16467□□ 16468□□ 16470□□ 16471□□ 16472□□ 16473□□ 16474□□ 16475□□
形式 EX-80ISO-XO EX-100ISO-XO EX-150ISO-XO EX-200ISO-XO EX-250ISO-XO EX-300ISO-XO EX-400ISO-XO EX-500ISO-XO
A 70 70 80 80 85 85 100 150
B 80 100 150 200 250 300 400 501
C 83 102 153 213 261 318 400 501
D 145 165 225 285 335 425 510 610
n—E 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10 12-M12 16-M12 16-M12
F 125 145 200 260 310 395 480 580
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 1023 1280
J 165.5 165.5 207.5 273 327 378 507 620
L 235 235 235 305 381 381 514 632
N 79 79 79 107.5 113.5 113.5 129.5 170
Q 98 98 98 126 130 131 139 196
T 180 180 235 308 380 430 560 680
U 158 158 210 284 348 402 528 642
V 60 60 60 60 72 72 80 120
W 79 79 99 135 165 190 255 315
重量kg 11 12 22 40 56 74 137 302

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-ISO-XO  シリーズ寸法図

 

単位:mm
口径 40 65
商品コ-ド 16440□□ 16442□□
型式 EX-40CF-XO EX-63CF-XO
A 40 65
B 69.4 113.5
C 50 60
D 191 228
E 118 130.5
F 40 50
G 96 120
H 86 111
n-J 6-M6 8-M8
K 58.7 92.1
重量kg 4.2 6.9

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-CF-XO シリ-ズ寸法図

 

単位:mm
口径 70 100 150 200 250
商品コード 16443□□ 16444□□ 16445□□ 16446□□ 16447□□
形式 EX-70CF-XO EX-100CF-XO EX-150CF-XO EX-200CF-XO EX-250CF-XO
A 70 70 80 80 100
B 70 100 150 200 250
D 113.5 151.6 202.4 253.2 306
n—E 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 92.1 130.2 181 231.8 284
H 314.5 314.5 401.5 541 654
J 165.5 165.5 207.5 273 327
L 235 235 235 305 381
N 79 79 79 107.5 113.5
Q 98 98 98 126 130
T 180 180 235 308 380
U 158 158 210 284 348
V 60 60 60 60 72
W 79 79 99 135 165
重量kg 10 12 21 39 55

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-CF-XO  シリーズ寸法図

 

マニュアル・コンパクトゲートバルブ

EX-03 シリーズ

当社オリジナルの駆動方式により、
コンパクトでコストパフォーマンスに優れております。

【 特 長 】

◇ コンパクト・軽量で開閉動作もスムーズです。
◆ 独特のゲート機構は逆圧にも耐え、面間は超薄型です。(カムスプリングは使用していません。)
◇ クリーンルーム内で組立、検査しています。
◆ 価格は、よりお求めやすくなりました。

 

【 主な仕様 】

標準フランジ JIS ・ ISO ・ CF ・ KF(NW)
口   径 40 ~ 400 (mm)
リ ー ク 量
    ハウジング
    バルブシート
1×10-11 Pa m3/s 以下1×10-10 Pa m3/s 以下
使 用 領 域 10 ~ 10-6 Pa
主 要 材 質 SUS304
ステムシール バイトンOリング
駆 動 方 式 マニュアル (スロットルハンドル回転)
開 閉 表 示 マイクロスイッチ付き (開/閉 各位置検出用)

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 350 400
商品コード 16509□□ 16510□□ 16511□□ 16512□□ 16513□□ 16514□□ 16514□□ 16515□□
形式 EX-80JIS-03 EX-100JIS-03 EX-150JIS-03 EX-200JIS-03 EX-250JIS-03 EX-300JIS-03 EX-350JIS-03 EX-400JIS-03
A 70 70 80 80 85 85 100 100
B 80 100 150 200 250 300 350 400
D 160 185 235 300 350 400 450 520
n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16
F 135 160 210 270 320 370 420 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 916 1023
J 166 166 208 273 324 375 449 499
L 185 185 210 245 280 305 362 386
N 71 71 71 85 88 88 97 97
Q 98 98 98 126 129 130 138 139
T 180 180 235 308 380 430 512 560
U 158 158 210 284 348 402 480 528
V 60 60 60 60 72 72 80 80
W 79 79 99 135 165 190 231 255
重量kg 10 11 20 38 52 64 100 128

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-JIS-03  シリーズ寸法図

054-0212_2

 

単位:mm
口径 40 50 65
商品コ-ド 16524□□ 16525□□ 16526□□
型式 EX-40KF-03 EX-50KF-03 EX-63KF-03
A 40 50 65
B 55 75 87
C 191 228 228
D 120 132.5 132.5
E 40 50 50
F 96 120 120
G 86 111 111
重量kg 3.1 3.9 4.2

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

EX-KF-03 シリ-ズ寸法図

054-0217_1

 

単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 400
商品コード 16567□□ 16568□□ 16570□□ 16571□□ 16572□□ 16573□□ 16574□□
形式 EX-80ISO-03 EX-100ISO-03 EX-150ISO-03 EX-200ISO-03 EX-250ISO-03 EX-300ISO-03 EX-400ISO-03
A 70 70 80 80 85 85 100
B 80 100 150 200 250 300 400
C 83 102 153 213 261 318 400
D 145 165 225 285 335 425 510
n—E 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10 12-M12 16-M12
F 125 145 200 260 310 395 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 1023
J 166 166 208 273 324 375 499
L 185 185 210 245 280 305 386
N 71 71 71 85 88 88 97
Q 98 98 98 126 129 130 139
T 180 180 235 308 380 430 560
U 158 158 210 284 348 402 528
V 60 60 60 60 72 72 82
W 79 79 99 135 165 190 255
重量kg 10 11 20 36 50 58 125

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-ISO-03  シリーズ寸法図

054-0213_2

 

単位:mm
口径 40 65
商品コ-ド 16540□□ 16542□□
型式 EX-40CF-03 EX-63CF-03
A 40 65
B 69.4 113.5
C 191 228
D 120 132.5
E 40 50
F 96 120
G 86 111
n-H 6-M6 8-M8
PCD.J 58.7 92.1
重量kg 3.5 6.2

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-CF-03 シリ-ズ寸法図

054-0218_1

 

単位:mm
口径 70 100 150 200 250
商品コード 16543□□ 16544□□ 16545□□ 16546□□ 16547□□
形式 EX-70CF-03 EX-100CF-03 EX-150CF-03 EX-200CF-03 EX-250CF-03
A 70 70 80 80 100
B 70 100 150 200 250
D 113.5 151.6 202.4 253.2 306
n—E 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 92.1 130.2 181 231.8 284
H 314.5 314.5 401.5 541 654
J 166 166 208 273 324
L 185 185 210 245 280
N 71 71 71 85 88
Q 98 98 98 126 129
T 180 180 235 308 380
U 158 158 210 284 348
V 60 60 60 60 72
W 79 79 99 135 165
重量kg 9 11 20 35 49

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。
※ バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

EX-CF-03  シリーズ寸法図

054-0214_2

 


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