圧力制御(APC)についてのお問い合わせ

    ご依頼内容
    お客様のわかる範囲で
    記載をお願いします。
    型式　
    MOD No.
    図番
    台数
    回答納期
    希望納期
    貴社名
    貴部署名
    ご担当者名
    メールアドレス
    郵便番号
    住所
    TEL
    FAX

    該等する項目の ☐ 内にレ印を付けて下さい。また、必要事項をご記入下さい。

    １．使用装置 （CVD、スパッタ、PVD、FPD、OLED=有機EL、太陽電池、リチウムイオン電池等記入）
    ２．圧力制御方法
    • ①目標圧力が一つ
      • Pa～Pa
    • ②目標圧力が二つ以上
      • a.いくつか
      • b.それぞれの目標値は何PaかPaPaPaPa
      • c.ランプ機能を使用するか（時間・目標圧の設定）
    ３．制御目標圧力範囲 Pa ～ Pa
    ４．APC開始圧力 Paから
    ５．真空計種類（使用数量） 種類：個
    ６．到達真空度 Pa
    ７．制御圧力安定度 ％以下（標準仕様は　FSの0.1％以下）
    ８．使用ガスの種類
    ９．ガス流量 sccm MFC（mass flow controller）使用：
    １０．排気ポンプの種類

    • 排気速度：
    • 排気速度：
    • 排気速度：
    １１．装置稼働時間 h/day ,
    １２．使用温度 バルブ部： ℃センサ部： ℃
    １３．使用方法 真空計：
    オプション：
    １４．製品構成 　()　()　()　()
    １５．コンダクタンスデータ

    計算値による近似コンダンクタンスデータの提出が可能です。
    3. 制御目標圧力範囲, 　9.ガス流量, 　10.排気ポンプ（排気速度）の3種類の項目を必ずご記入下さい。
    １６．その他
    添付ファイル

    ※3MB、Word、Excel、PDF、ZIPファイルが送信できます。その他ファイルは圧縮して添付してください。
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