3ポジション・ニューマチック・コンパクトゲートバルブ EX-AXONシリーズ

EX-AXONシリーズ

当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れております。

  • 1台で2台分の働きをします。
    ・ 1台のバルブでメイン排気と、コンダクタンス排気が可能です。・ 弁開度を任意に設定できるサブシリンダーが付いています。
  • ダブルシリンダー方式を採用し、よりコンパクト・軽量化されました。さらにエアークッション効果により開閉はスムーズです。
  • 独特のゲート機構は逆圧にも耐え、面間は超薄型です。(カムスプリングは使用していません。)
  • クリーンルーム内で組立、検査しています。
  • 価格は、よりお求めやすくなりました。

EX-AXONシリーズの主な仕様

標準フランジ JIS・ISO・CF
口径 70~750(mm)
リーク量 ハウジング 1×10⁻¹¹ Pa m³/s 以下
バルブシート 1×10⁻¹⁰ Pa m³/s 以下
使用領域 10⁵~10⁻⁶ Pa
主要材質 SUS304
ステムシール バイトンOリング
駆動方式 ニューマチック
作動空気圧 0.4~0.6MPa G
開閉表示 マイクロスイッチ付き (開/閉 各位置検出用)

※特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

EX-JIS-XON シリーズ寸法図

EX-JIS-XON  シリーズ寸法図
単位:mm
形式 EX-80JIS-XON EX-100JIS-XON EX-150JIS-XON EX-200JIS-XON EX-250JIS-XON EX-300JIS-XON EX-350JIS-XON EX-400JIS-XON EX-450JIS-XON EX-500JIS-XON
商品 コード 16409□□ 16410□□ 16411□□ 16412□□ 16413□□ 16414□□ 16414□□ 16415□□ 16415□□ 16416□□
口径 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500
A 70 70 80 80 85 85 100 100 150 150
B 80 100 150 200 250 300 350 400 450 500
D 160 185 235 300 350 400 450 520 575 625
n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16 16-M16 16-M16
F 135 160 210 270 320 370 420 480 535 585
H 311.5 311.5 398.5 541 654 752 916 1023 1170 1280
J 165.5 165.5 207.5 273 327 378 457 507 535 620
K 4.5 4.5 4.5 7.5 10.5 10.5 18.5 18.5 15 15
L 235 235 235 305 381 381 514 514 632 632
M 81 81 81 90 102 112 130 130 184 184
N 79 79 79 107.5 113.5 129.5 129.5 129.5 170 170
O 15 15 15 21 28 28 40 40 54.5 54.5
P 63 63 63 79.5 83.5 84.5 91.5 92.5 126 126
Q 98 98 98 126 130 131 138 139 196 196
R 88 88 88 145 145 145 155 155 210 210
T 180 180 235 308 380 430 512 560 620 680
U 158 158 210 284 348 402 480 528 582 642
V 60 60 60 60 72 72 80 82 120 120
W 79 79 99 135 165 190 231 255 290 315

※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

※バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

EX-ISO-XON シリーズ寸法図

EX-ISO-XON シリーズ寸法図
単位:mm

形式

EX-80ISO-XON

EX-100ISO-XON

EX-150ISO-XON

EX-200ISO-XON

EX-250ISO-XON

EX-300ISO-XON

EX-400ISO-XON

EX-500ISO-XON

商品コード

16467□□

16468□□

16470□□

16471□□

16472□□

16473□□

16474□□

16475□□

口径

80

100

150

200

250

300

400

500

A

70

70

80

80

85

85

100

150

B

80

100

150

200

250

300

400

501

C

83

102

153

213

261

318

400

501

D

145

165

225

285

335

425

510

610

n—E

8-M8

8-M8

8-M10

12-M10

12-M10

12-M12

16-M12

16-M12

F

125

145

200

260

310

395

480

580

H

311.5

311.5

398.5

541

654

752

1023

1280

J

165.5

165.5

207.5

273

327

378

507

620

K

4.5

4.5

4.5

7.5

10.5

10.5

18.5

15

L

235

235

235

305

381

381

514

632

M

81

81

81

90

102

112

130

184

N

79

79

79

107.5

113.5

113.5

129.5

170

O

15

15

15

21

28

28

40

54.5

P

63

63

63

79.5

83.5

84.5

91.5

126

Q

98

98

98

126

130

131

139

196

R

88

88

88

145

145

145

155

210

T

180

180

235

308

380

430

560

680

U

158

158

210

284

348

402

528

642

V

60

60

60

60

72

72

82

120

W

79

79

99

135

165

190

255

315

※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

※バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

EX-CF-XON シリーズ寸法図

EX-CF-XON シリーズ寸法図
単位:mm

形式

EX-70CF-XON

EX-100CF-XON

EX-150CF-XON

EX-200CF-XON

EX-250CF-XON

商品コード

16443□□

16444□□

16445□□

16446□□

16447□□

口径

70

100

150

200

250

A

70

70

80

80

100

B

70

100

150

200

250

D

113.5

151.6

202.4

253.2

306

n—E

8-M8

16-M8

20-M8

24-M8

32-M8

F

92.1

130.2

181

231.8

284

H

311.5

311.5

398.5

541

654

J

165.5

165.5

207.5

273

327

K

4.5

4.5

4.5

7.5

10.5

L

235

235

235

305

381

M

81

81

81

90

102

N

79

79

79

107.5

113.5

O

15

15

15

21

28

P

63

63

63

79.5

83.5

Q

98

98

98

126

130

R

88

88

88

145

145

T

180

180

235

308

380

U

158

158

210

284

348

V

60

60

60

60

72

W

79

79

99

135

165

※口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

※バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

EX-XONシリーズの各部名称

EX-XONシリーズの各部名称

弁体開度の調整方法

<調整方法>

上図の左側部分図のようにシリンダ2から調整フランジを引き出すことにより、弁体の開口面積を全覆(0%)~45%の範囲で調整することができます。

調整フランジの引き出し量:Yと弁体開口面積の関係を表-1に示します。この表は計算値をもとに作成してありますので、実際の弁体開口面積とは若干異なる場合がありますので御注意下さい。

表-1

単位:mm

口径

45%

30%

20%

10%

5%

全覆

80A

15

12.6

11.3

9.6

8.5

0

100A

15

12.0

10.2

8.1

6.5

0

150A

15

11.7

10.0

7.6

5.9

0

200A

21

17.2

14.7

11.7

9.5

0

250A

28

22.2

19.0

14.9

11.8

0

300A

28

21.9

18.5

14.3

11.2

0

350A

40

32.7

27.7

21.6

17.5

0

400A

40

31.8

26.9

20.9

16.4

0

* 引き出し量:Yは、調整フランジ引き出し後、ロックナットを固定した時の寸法です。

エアー接続方法

圧力 0.4~0.6MPa Gのエアーを供給口a,b,cに接続して下さい。各供給口でのエアーのIN,OUTとバルブ動作の関係を表-2に示します。

表-2

バルブ動作

供給口a

供給口b

供給口c

全閉

IN

OUT

注)参照

全開

OUT

IN

OUT

中間停止

OUT

IN

IN

注)INでもOUTでも可

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。