モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDⅡ-M4-ARJシリーズ

MBV-LDⅡ-M4-ARJシリーズ

長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

  1. 長寿命  50万~100万サイクル
  2. 低価格  低価格で自動圧力制御ができます。
  3. 高性能  高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用
  4. 高機能  フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。

モータ位置を選択できます。(4位置)

選べる4つのタイプ

MBV-LDⅡ-M4-R

MBV-LDⅡ-M4-L

MBV-LDⅡ-M4-F

MBV-LDⅡ-M4-B

特徴

  • フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。
  • 差圧状態(真空~大気圧)からオープンさせることができます。
  • 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
  • 全閉・全開の他、最大13ポジションの任意の位置に停止させることができます。
    ポジショニング設定は、オプションのサーボ支援ソフトウェアで簡単に行えます。
  • 制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、自動圧力制御バルブ
    としても使用できます。
  • 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
  • モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペース
    を有効活用できます。
  • フルクローズ(全閉)位置検出用フォトセンサを標準装備
  • オプションでブレーキ付きモータ仕様も対応可能です。(型式:MBV-LDⅡ-M4Br-ARJ)

標準以外のモータ対応について

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。

MBV-LDⅡ-M4-ARJシリーズの主な仕様

フランジ形式 JIS・ISO・CF・NW
リーク量 1×10-9 Pa・m3/s 以下
使用領域 105 ~ 10-6 Pa
ディスクシール バイトンOリング
軸シール バイトンOリング2段
口径 25A ~300A
電源仕様 主電源 AC200V(定格電流1.5A)
制御電源AC200V(定格電流0.2A)
インターフェイス用電源 DC24V(最大500mA)
制御方式 ACサーボ方式
接ガス部材質 SUS304

システムの構成

システムの構成

※ バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。
※ オプション品につきましては、別紙「マルチポジション用オプションリスト」にてご確認下さい。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

付属サーボアンプ寸法図

付属サーボアンプ寸法図

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS LDⅡ-M4シリーズ寸法図

MBV-JIS LDⅡ-M4シリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-1LDⅡ-M4-ARJ MBV-2LDⅡ-M4-ARJ MBV-2.5LDⅡ-M4-ARJ MBV-3LDⅡ-M4-ARJ MBV-4LDⅡ-M4-ARJ MBV-6LDⅡ-M4-ARJ MBV-8LDⅡ-M4-ARJ MBV-10LDⅡ-M4-ARJ MBV-12LDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10705□□ 10707□□ 10708□□ 10709□□ 10710□□ 10711□□ 10712□□ 10713□□ 10714□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45
B 34 52 68 81 104 158 209 258 308
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370
G 33 52 67 80 102 154 206 254 303
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388 455 505 555
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254 279
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85 85
M 227 227 228 228 228.5 246 246.5 247 247
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8
R 100 100 100 100 100 110 110 110 110
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO LDⅡ-M4シリーズ寸法図

MBV-ISO LDⅡ-M4シリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-ISO40LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO50LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO63LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO80LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO100LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO160LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO200LDⅡ-M4-ARJ MBV-ISO250LDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10765□□ 10766□□ 10767□□ 10767□□ 10768□□ 10770□□ 10771□□ 10772□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 68 81 104 158 209 258
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 23 47 62 76 100 148 203 251
H 259 259 284.5 298.5 324 388 455 505
J 130.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85
M 227 227 228 228 228.5 246 246.5 247
R 100 100 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-CF LDⅡ-M4シリーズ寸法図

MBV-CF LDⅡ-M4シリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-CF40LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF63LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF100LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF160LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF200LDⅡ-M4-ARJ MBV-CF250LDⅡ-M4-ARJ
商品コード 10740□□ 10742□□ 10744□□ 10745□□ 10747□□ 10748□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 104 158 209 258
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 23 47 100 148 203 251
H 228.5 259 324 388 455 505
J 115.5 130.5 163 194 229 254
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 55 70 85 85
M 227 227 228.5 246 246.5 247
R 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-NW LDⅡ-M4シリーズ寸法図

MBV-NW LDⅡ-M4シリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-NW40LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW50LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW63LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW80LDⅡ-M4-ARJ MBV-NW100LD-M4-ARJ MBV-NW160LD-M4-ARJ
商品コード 10724□□ 10725□□ 10726□□ 10727□□ 10728□□ 10730□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 68 81 104 158
D 55 75 87 114 134 190
G 0 36 56 55 84 140
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 55 55 49 49 55 70
M 227 227 228 228 228.5 246
R 100 100 100 100 100 110

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

MBV-JIS LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-1LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-2LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-2.5LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-3LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-4LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-6LDⅡ-M4Br -ARJ MBV-8LDⅡ-M4Br -ARJ MBV-10LDⅡ-M4Br -ARJ MBV-12LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10705□□ 10707□□ 10708□□ 10709□□ 10710□□ 10711□□ 10712□□ 10713□□ 10714□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45
B 34 52 68 81 104 158 209 258 308
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370
G 33 52 67 80 102 154 206 254 303
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388 455 505 555
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254 279
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85 85
M 263.5 263.5 264.5 264.5 265 282.5 283 283.5 283.5
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8
R 100 100 100 100 100 110 110 110 110
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

MBV-ISO LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-ISO40LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO50LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO63LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO80LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO100LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO160LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO200LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-ISO250LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10765□□ 10766□□ 10767□□ 10767□□ 10768□□ 10770□□ 10771□□ 10772□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 68 81 104 158 209 258
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 23 47 62 76 100 148 203 251
H 259 259 284.5 298.5 324 388 455 505
J 130.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85
M 263.5 263.5 264.5 264.5 265 282.5 283 283.5
R 100 100 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-CF LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

MBV-CF LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-CF40LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF63LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF100LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF160LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF200LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-CF250LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10740□□ 10742□□ 10744□□ 10745□□ 10747□□ 10748□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 104 158 209 258
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 23 47 100 148 203 251
H 228.5 259 324 388 455 505
J 115.5 130.5 163 194 229 254
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 55 70 85 85
M 263.5 263.5 265 282.5 283 283.5
R 100 100 100 110 110 110

注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-NW LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図

MBV-NW LDⅡ-M4Brシリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-NW40LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW50LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW63LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW80LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW100LDⅡ-M4Br-ARJ MBV-NW160LDⅡ-M4Br-ARJ
商品コード 10724□□ 10725□□ 10726□□ 10727□□ 10728□□ 10730□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 68 81 104 158
D 55 75 87 114 134 190
G 0 36 56 55 84 140
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 55 55 49 49 55 70
M 263.5 263.5 264.5 264.5 265 282.5
R 100 100 100 100 100 110

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

M4-ARJ 共通オプション

*MBV-AD Ⅱ -M4-ARJ/MBV-LD Ⅱ -M4-ARJ/MBV-SD Ⅱ -M4-ARJ共通オプション  サーボアンプにポジションを設定して任意のポジションへバルブ弁体を動作させます。
  • ENCケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)

    バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。
    形式 長さ(L)
    ENCケーブル(負荷側)2m_4123500 2m
    ENCケーブル(負荷側)5m_4123501 5m
    ENCケーブル(負荷側)10m_4123502 10m
    ENCケーブル(反負荷側)2m_4123505 2m
    ENCケーブル(反負荷側)5m_4123506 5m
    ENCケーブル(反負荷側)10m_4123507 10m
    注1.(負荷引出し/反負荷引出し)
  • MOT電源ケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)

    バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。
    形式 長さ(L)
    MOTケーブル(負荷側)2m_4123520 2m
    MOTケーブル(負荷側)5m_4123521 5m
    MOTケーブル(負荷側)10m_4123522 10m
    MOTケーブル(反負荷側)2m_4123525 2m
    MOTケーブル(反負荷側)5m_4123526 5m
    MOTケーブル(反負荷側)10m_4123527 10m
    *シールドケーブルではありません。
  • 電磁ブレーキケーブル(負荷引出し/反負荷引出し)

    電磁ブレーキ付サーボモータ用ケーブルです。
    形式 長さ(L)
    BLケーブル(負荷側)2m_4123540 2m
    BLケーブル(負荷側)5m_4123541 5m
    BLケーブル(負荷側)10m_4123542 10m
    BLケーブル(反負荷側)2m_4123545 2m
    BLケーブル(反負荷側)5m_4123546 5m
    BLケーブル(反負荷側)10m_4123547 10m
    *シールドケーブルではありません。
  • REMOTE I/F Mケーブル(CN1用50P)

    サーボアンプへリモート入出力するためのケーブルです。
    形式 長さ(L)
    REMOTE I/F Mケーブル_4123340(1m) 1m
    REMOTE I/F Mケーブル_4123341(2m) 2m
    REMOTE I/F Mケーブル_4123342(3m) 3m
    REMOTE I/F Mケーブル_4123343(4m) 4m
    REMOTE I/F Mケーブル_4123344(5m) 5m
  • REMOTE中継端子台 I/F Mケーブル(CN1用50P)、中継端子台(MR-TB50)

    サーボアンプへリモート入出力するための中継ケーブルおよび端子台です。
    形式 長さ(L)
    MR-J2M-CN1 TBL05M_4123350 0.5m
    MR-J2M-CN1 TBL1M_4123351 1m
    中継端子台 MR-TB50_4123352(50P)
    サーボアンプコネクタ 中継端子コネクタ
    中継端子台 50P
  • サーボ支援ソフトウェア

    サーボアンプにポジション設定するためのソフトウェアです。
    形式 言語
    SW1 DNC-MRC2-J_4123560 日本語版
    SW1 DNC-MRC2-E_4123561 英語版
  • 通信ケーブル

    PCとサーボアンプを接続するためのUSBケーブルです。
    形式 長さ(L)
    MR-J3USBCBL3M_4123562 3m
    サーボアンプ mini-Bコネクタ PC Aコネクタ