マニュアル・バタフライバルブ SBVM-AXⅡシリーズ

SBVM-AXⅡシリーズ

コストパフォーマンスに優れています

コンダクタンスでの有利性

バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で最も配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。
この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。

手動スロットルバタフライバルブ(SBVM型)

  • ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます。
    また操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです。
  • 真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良であるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとしての特徴を発揮します。

SBVM-AXⅡシリーズの主な仕様

フランジ形式 JIS・NW・ISO・CF
リーク量 1×10⁻⁹Pam³/s以下
使用領域 10⁵~10⁻⁶Pa
ディスクシール バイトンOリング
軸シール バイトンOリング2段
口径 25A~250A
接ガス部材質 SUS304
付属品 開閉表示機構付
オプション マイクロスイッチ
角度表示板・ハンドルロック
  • SBVM型は、弁体の開度を確認できる、角度表示板(角度メモリ付)及び弁体中間位置を確実に固定できるロック機構付がオプションとして取付できます。(図-1)
  • 開閉表示用マイクロスイッチをオプションにて取付できます。(図‐2)
  • 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
  • 特殊仕様品も製作可能ですからご相談下さい。
(図-1)
(図-2)

SBVM-JIS AXⅡシリーズ寸法図

SBVM-JIS AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 SBVM-1AXⅡ SBVM-2AXⅡ SBVM-2.5AXⅡ SBVM-3AXⅡ SBVM-4AXⅡ SBVM-6AXⅡ SBVM-8AXⅡ SBVM-10AXⅡ
商品コード 10605□□ 10607□□ 10608□□ 10609□□ 10610□□ 10611□□ 10612□□ 10613□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 58 88 105 120 145 190 250 302
D 90 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320
G 32 51 64 79 101 154 206 253
H 127.5 158 183.5 201.5 227 288 370 436
J 59 74 86.5 101 113.5 138.5 176 201
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 157 157 157 178 198 235 294 294
M 80 80 95 90 130 150 144 144
P 40 70 85 100 120 175 225 275
Q 5 5 5 5 5 5 8 8
R 20 20 20 27.5 27.5 35 35 35
S 16 16 16 16 16 20 25 25
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書 保守用フランジに準拠したフランジです。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

SBVM-ISO AXⅡシリーズ寸法図

SBVM-ISO AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 SBVM-
ISO40AXⅡ
SBVM-
ISO50AXⅡ
SBVM-
ISO63AXⅡ
SBVM-
ISO80AXⅡ
SBVM-
ISO100AXⅡ
SBVM-
ISO160AXⅡ
SBVM-
ISO200AXⅡ
SBVM-
ISO250AXⅡ
商品コード 10665□□ 10666□□ 10667□□ 10667□□ 10668□□ 10670□□ 10671□□ 10672□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 20 45 59 74 97 144 199 249
H 158 158 183.5 201.5 227 288 370 436
J 74 74 86.5 101 113.5 138.5 176 201
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 157 157 157 178 198 235 294 294
M 80 80 95 90 130 150 144 144
R 20 20 20 27.5 27.5 35 35 35
S 16 16 16 16 16 20 25 25

注1. 上記は、ISO1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

SBVM-CF AXⅡシリーズ寸法図

SBVM-CF AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 SBVM- CF40AXⅡ SBVM- CF63AXⅡ SBVM- CF100AXⅡ SBVM- CF160AXⅡ SBVM- CF200AXⅡ SBVM- CF250AXⅡ
商品コード 10640□□ 10642□□ 10644□□ 10645□□ 10647□□ 10648□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 102 155 208 257
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 20 45 97 144 199 249
H 127.5 158 227 288 370 436
J 59 74 113.5 138.5 176 201
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 157 157 198 235 294 294
M 80 80 130 150 144 144
R 20 20 27.5 35 35 35
S 16 16 16 20 25 25

注1. 上記は、ISO/TS 3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. CF40には、漏れ探し溝はありません。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

SBVM-NW AXⅡシリーズ寸法図

SBVM-NW AXⅡシリーズ寸法図
単位:mm
型式 SBVM-NW40AXⅡ SBVM-NW50AXⅡ SBVM-NW63AXⅡ SBVM-NW80AXⅡ SBVM-NW100AXⅡ
商品コード 10624□□ 10625□□ 10626□□ 10627□□ 10628□□
A 40 40 40 60 60
B 34 52 65 80 102
D 55 75 87 114 134
G 0 25 56 44 78
H 127.5 158 183.5 201.5 227
J 59 74 86.5 101 113.5
K 43 58.5 71.5 78 91
L 157 157 157 178 198
M 80 80 95 90 130
R 20 20 20 27.5 27.5
S 16 16 16 16 16

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。