モータ直結駆動型・バタフライバルブ MBV-ADⅡ-M4-ARJ シリーズ
高性能かつ汎用性の高いサーボモータシステムを利用したフルクローズ及びコンダクタンス制御用バルブです。
バルブディスク（弁体）の全閉、全開の他任意のポジションへの位置決めや、開閉速度の可変など多様な動作パターンを行うことができます。
特長
- フルクローズ（ 全閉） とコンダクタンス調整が１ 台で可能です。
- 差圧状態（ 真空－大気圧） からオープンさせることができます。
- モータ直結駆動機構と高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
- 制御方法により開度調整や速度調整など多彩な運転パターンが可能です。 （ 注１ ）
- 大流量排気に適しており耐久性に優れています。Ｆ Ｐ Ｄ ・Ｏ Ｌ Ｅ Ｄ 関連装置（ コータシステム、 貼り合わせ装置等） に最適です。
- 角度表示インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
- 制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、 自動圧力制御バルブとしても使用できます。
注１.バルブによって設定速度の最大値が決められています。お問合せ下さい。
MBV-ADⅡ-M4-ARJ シリーズの主な仕様
| タイプ | Ｍ Ｂ Ｖ － Ａ Ｄ Ⅱ － Ｍ ４ （ 三菱電機／Ｍ Ｒ － Ｊ ４シリーズ）
Ｍ Ｂ Ｖ － Ａ Ｄ Ⅱ － Ｍ ４ Ｂ ｒ （ モータ仕様： ブレーキ付） |
|---|---|
| 口径 | ５ ０ Ａ 、 ６５Ａ 、 ８０ Ａ 、 １ ００Ａ 、 １５ ０Ａ 、 ２００ Ａ 、 ２ ５０Ａ |
| リーク量 | １×１０-9 Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下 |
| 使用領域 | １０5 ～１０-6 Ｐａ |
| ディスクシール ＊１ | ＥＰＤＭ Ｏリング |
| 軸シール ＊２ | ＥＰＤＭ Ｏリング |
|---|---|
| 接ガス部材質 | Ｓ Ｕ Ｓ ３０４ |
| インジケータ | 角度外部表示インジケータ付き |
| サーボアンプ付属 | Ｍ Ｒ － Ｊ４－ Ａ － ＲＪ （ 位置決めモード対応） |
| オプション | 開閉検出フォトセンサ |
- ＊ １ , ＊ ２ Ｅ Ｐ Ｄ Ｍ を標準としておりますが用途に合わせて他の材質も選定できます。
バイトン, Ｆ Ｆ ＫＭ＝ パーフロ等 - ＊ 本バルブの性能を維持するためには弁体O リングの定期的な交換、 弁シール部への定期的グリスアップが必要となります。
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
システムの構成
※ バルブユニットに含まれるもの（ バルブ本体、 サーボモータ、 サーボアンプ） 以外はオプションになります。
※ オプション品につきましては、 別紙「 マルチポジション用オプションリスト」 にてご確認下さい。
【 付属サーボアンプ寸法図】 Ｍ Ｒ- Ｊ ４- ２０Ａ－ＲＪ （ ５０Ａ～１５０Ａ に付属）
標準以外のモータ対応について
標準モータ以外のサーボモータ等、 貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。
MBV-JIS ADⅡ-M4 シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||
| 型式 | MBV-3AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-4AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-6AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-8AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-10AD Ⅱ -M4-ARJ |
| 商品コード | 10809 □ | 10810 □ | 10811 □ | 10812 □ | 10813 □ |
| A | 20 | 20 | 26 | 40 | 40 |
| B | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 120 | 145 | 190 | 250 | 302 |
| D | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n —E | 4- φ 12 | 8- φ 12 | 8- φ 12 | 8- φ 15 | 12- φ 15 |
| F | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 |
| G | 80 | 102 | 154 | 206 | 254 |
| H | 413.5 | 439 | 503 | 639 | 689 |
| J | 101.5 | 114 | 140.5 | 176.5 | 201.5 |
| K | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 93 | 93 | 98 | 132 | 132 |
| M | 141 | 141 | 148 | 182 | 182 |
| N | 150 | 150 | 160 | 225 | 225 |
| P | 100 | 120 | 175 | 225 | 275 |
| Q | 5 | 5 | 5 | 8 | 8 |
| R | 60 | 60 | 90 | 120 | 120 |
| S | 90 | 90 | 120 | 160 | 160 |
| V | V100 | V120 | V175 | V225 | V275 |
注1. 上記は、 JIS B2290 真空装置用フランジ附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
MBV-ISO AD Ⅱ -M4 シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||
| 型式 | MBV-ISO80AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-ISO100AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-ISO160AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-ISO200AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-ISO250AD Ⅱ -M4-ARJ |
| 商品コード | 10867 □ | 10868 □ | 10870 □ | 10871 □ | 10872 □ |
| A | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 145 | 165 | 225 | 285 | 335 |
| D | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n —E | 8- φ 9 | 8- φ 9 | 8- φ 11 | 12- φ 11 | 12- φ 11 |
| F | 125 | 145 | 200 | 260 | 310 |
| G | 76 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 413.5 | 439 | 503 | 639 | 689 |
| J | 101.5 | 114 | 140.5 | 176.5 | 201.5 |
| K | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 93 | 93 | 98 | 132 | 132 |
| M | 141 | 141 | 148 | 182 | 182 |
| N | 150 | 150 | 160 | 225 | 225 |
| R | 60 | 60 | 90 | 120 | 120 |
| S | 90 | 90 | 120 | 160 | 160 |
注1. 上記は、 ISO1609Vacuum technology-Flange dimensions に準拠したフランジです。
MBV-NW AD Ⅱ -M4 シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||
| 型式 | MBV-NW80AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-ISO100AD Ⅱ -M4-ARJ | MBV-NW160AD Ⅱ -M4-ARJ |
| 商品コード | 10827 □ | 10828 □ | 10830 □ |
| A | 60 | 60 | 66 |
| B | 81 | 104 | 158 |
| D | 114 | 134 | 190 |
| G | 55 | 84 | 140 |
| H | 413.5 | 439 | 503 |
| J | 101.5 | 114 | 140.5 |
| K | 78 | 91 | 116.5 |
| L | 93 | 93 | 98 |
| M | 141 | 141 | 148 |
| N | 150 | 150 | 160 |
| R | 60 | 60 | 90 |
| S | 90 | 90 | 120 |
注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。 弊社以外のクランプをご使用の場合には、 クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
MBV-JIS ADⅡ-M4 シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||
| 型式 | MBV-3AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-4AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-6AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-8AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-10AD Ⅱ -M4Br-ARJ |
| 商品コード | 10809 □ | 10810 □ | 10811 □ | 10812 □ | 10813 □ |
| A | 20 | 20 | 26 | 40 | 40 |
| B | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 120 | 145 | 190 | 250 | 302 |
| D | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n —E | 4- φ 12 | 8- φ 12 | 8- φ 12 | 8- φ 15 | 12- φ 15 |
| F | 135 | 160 | 210 | 270 | 320 |
| G | 80 | 102 | 154 | 206 | 254 |
| H | 450.5 | 476 | 540 | 676 | 726 |
| J | 101.5 | 114 | 140.5 | 176.5 | 201.5 |
| K | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 93 | 93 | 98 | 132 | 132 |
| M | 178 | 178 | 185 | 219 | 219 |
| N | 150 | 150 | 160 | 225 | 225 |
| P | 100 | 120 | 175 | 225 | 275 |
| Q | 5 | 5 | 5 | 8 | 8 |
| R | 60 | 60 | 90 | 120 | 120 |
| S | 90 | 90 | 120 | 160 | 160 |
| V | V100 | V120 | V175 | V225 | V275 |
注1. 上記は、 JIS B2290 真空装置用フランジ附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
MBV-ISO AD Ⅱ -M4 シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||||
| 型式 | MBV-ISO80AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-ISO100AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-ISO160AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-ISO200AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-ISO250AD Ⅱ -M4Br-ARJ |
| 商品コード | 10867 □ | 10868 □ | 10870 □ | 10871 □ | 10872 □ |
| A | 30 | 30 | 50 | 50 | 50 |
| B | 81 | 104 | 158 | 209 | 258 |
| C | 145 | 165 | 225 | 285 | 335 |
| D | 160 | 185 | 235 | 300 | 350 |
| n —E | 8- φ 9 | 8- φ 9 | 8- φ 11 | 12- φ 11 | 12- φ 11 |
| F | 125 | 145 | 200 | 260 | 310 |
| G | 76 | 100 | 148 | 203 | 251 |
| H | 450.5 | 476 | 540 | 676 | 726 |
| J | 101.5 | 114 | 140.5 | 176.5 | 201.5 |
| K | 78 | 91 | 116.5 | 148.5 | 173.5 |
| L | 93 | 93 | 98 | 132 | 132 |
| M | 178 | 178 | 185 | 219 | 219 |
| N | 150 | 150 | 160 | 225 | 225 |
| R | 60 | 60 | 90 | 120 | 120 |
| S | 90 | 90 | 120 | 160 | 160 |
注1. 上記は、 ISO1609Vacuum technology-Flange dimensions に準拠したフランジです。
MBV-NW AD Ⅱ -M4 シリーズ寸法図
| 単位:mm | |||
| 型式 | MBV-NW80AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-NW100AD Ⅱ -M4Br-ARJ | MBV-NW160AD Ⅱ -M4Br-ARJ |
| 商品コード | 10827 □ | 10828 □ | 10830 □ |
| A | 60 | 60 | 66 |
| B | 81 | 104 | 158 |
| D | 114 | 134 | 190 |
| G | 55 | 84 | 140 |
| H | 450.5 | 476 | 540 |
| J | 101.5 | 114 | 140.5 |
| K | 78 | 91 | 116.5 |
| L | 93 | 93 | 98 |
| M | 178 | 178 | 185 |
| N | 150 | 150 | 160 |
| R | 60 | 60 | 90 |
| S | 90 | 90 | 120 |
注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。 弊社以外のクランプをご使用の場合には、 クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。