モータ駆動・コンパクトゲートバルブ MEX-LD-AZシリーズ

MEX-LD-AZシリーズ

当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れたゲートバルブです。

1．低価格 低価格で自動圧力制御ができます。
2．高性能 高性能ステッピングモーター・ドライバを採用
3．高機能 フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。
ABZOセンサ搭載により、バッテリレスのアブソリュートシステムを実現
モータ位置を選択できます。（3位置）

選べる３つのタイプ

MEX-LD-AZ-R

MEX-LD-AZ-L

MEX-LD-AZ-F

特長

  • フルクローズ（全閉）とコンダクタンス調整が１台でできます。
  • 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
  • 全閉・全開の他、最大１４ポジションの任意の位置に停止させることができます。ポジション設定は、サポートソフトをパソコンにインストールして簡単に行えます。
  • 制御用オプションのデュアル自動圧力制御システムコントローラを追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。
  • 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
  • モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。
  • オプションで全閉・全開位置検出用フォトセンサを装備できます。
  • オプションでブレーキ付きモータ仕様も対応可能です。

MEX-LD-AZシリーズの主な仕様

フランジ形式 ＪＩＳ・ＩＳＯ・ＣＦ
リーク量 ハウジング
１×１０-11　Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下
バルブシート
１×１０-10　Ｐａ・ｍ3／ｓ 以下
使用領域 １０5　～　１０-6　Ｐａ
ステムシール バイトンＯリング
主要材質 ＳＵＳ３０４
口径 ７０ ～ ４００（ｍｍ）
制御方式 ハイブリッド制御システムαSTEP ※1
電源仕様 DC電源
DC24V/DC48V　3.45A（3.7A）※3
AC電源 ※2
単相AC100-120V　5.4A
単相AC200-240V　3.3A
三相AC200-240V　2.0A
  • 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
  • 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。
  • 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

※1　ハイブリッド制御システムαSTEP：“オープンループ制御”と“クローズドループ制御”の利点をハイブリッドした、オリエンタルモーター社の独自制御。
※2 　AC電源仕様のドライバには制御回路用電源として、別途DC24V 0.25A（0.5A）※3が必要です。
※3 　（　　）内は、ブレーキ付モータを使用した時の電流値です。

バルブ型式

◆標準モータ仕様
・MEX-□-LD-AZ-△-KD　　電源入力：DC24V/DC48V
・MEX-□-LD-AZ-△-AD　　電源入力：AC単相100-120V
・MEX-□-LD-AZ-△-CD　　電源入力：AC単相/三相200-240V

◆ブレーキ付モータ仕様
・MEX-□-LD-AZBr-△-KD　　電源入力：DC24V/DC48V
・MEX-□-LD-AZBr-△-AD　　電源入力：AC単相100-120V
・MEX-□-LD-AZBr-△-CD　　電源入力：AC単相/三相200-240V

□：フランジ種類 および 口径　　　△：モータ位置（R・L・F）

システムの構成

システムの構成

※バルブユニットに含まれるもの（バルブ本体、モータ、ドライバ）以外はオプションになります。

付属ドライバ寸法図

付属ドライバ寸法図

MEX-JIS-LD-AZシリーズ寸法図

MEX-JIS-LD-AZシリーズ寸法図
単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 350 400
商品コード 16709□□ 16710□□ 16711□□ 16712□□ 16713□□ 16714□□ 16714□□ 16715□□
型式 MEX-80JIS-LD-AZ-□□ MEX-100JIS-LD- AZ-□□ MEX-150JIS-LD- AZ-□□ MEX-200JIS-LD- AZ-□□ MEX-250JIS-LD- AZ-□□ MEX-300JIS-LD- AZ-□□ MEX-350JIS-LD- AZ-□□ MEX-400JIS-LD- AZ-□□
A 70 70 80 80 85 85 100 100
B 80 100 150 200 250 300 350 400
D 160 185 235 300 350 400 450 520
n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16
F 14 14 14 15 16 16 18 18
G 135 160 210 270 320 370 420 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 916 1023
J 150 150 192 254 305 356 433 483
L 271.5 271.5 271.5 288.5 288.5 288.5 288.5 288.5
M 105 105 105 116 120 121 128 129
Q 174 174 174 192 196 197 204 205
R 110 110 110 140 140 140 140 140
T 180 180 235 308 380 430 512 560
U 158 158 210 284 348 402 480 528
V 60 60 60 60 72 72 80 82
W 79 79 99 135 165 190 231 255

注1.　上記は、旧JIS B2290 真空装置用フランジに準拠したフランジです。
注2.　型式の(　)内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.　口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.　バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

MEX-ISO-LD-AZシリーズ寸法図

MEX-ISO-LD-AZシリーズ寸法図
単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 400
商品コード 16767□□ 16768□□ 16770□□ 16771□□ 16772□□ 16773□□ 16774□□
型式 MEX-80ISO-LD- AZ-□□ MEX-100ISO-LD- AZ-□□ MEX-150ISO-LD- AZ-□□ MEX-200ISO-LD- AZ-□□ MEX-250ISO-LD- AZ-□□ MEX-300ISO-LD- AZ-□□ MEX-400ISO-LD- AZ-□□
A 70 70 80 80 85 85 100
B 80 100 150 200 250 300 400
C 83 102 153 213 261 318 400
D 145 165 225 285 335 425 510
n—E 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10 12-M12 16-M12
F 14 14 14 15 16 16 18
G 125 145 200 260 310 395 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 1023
J 150 150 192 254 305 356 483
L 271.5 271.5 271.5 288.5 288.5 288.5 288.5
M 105 105 105 116 120 121 129
Q 174 174 174 192 196 197 205
R 110 110 110 140 140 140 140
T 180 180 235 308 380 430 560
U 158 158 210 284 348 402 528
V 60 60 60 60 72 72 82
W 79 79 99 135 165 190 255

注1.　上記は、ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2.　型式の(　)内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.　口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.　バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

MEX-CF-LD-AZシリーズ寸法図

MEX-CF-LD-AZシリーズ寸法図
単位:mm
口径 70 100 150 200 250
商品コード 16743□□ 16744□□ 16745□□ 16746□□ 16747□□
型式 MEX-70CF-LD- AZ-□□ MEX-100CF-LD- AZ-□□ MEX-150CF-LD- AZ-□□ MEX-200CF-LD- AZ-□□ MEX-250CF-LD- AZ-□□
CFフランジ呼び CF114 CF152 CF203 CF253 CF305
A 70 70 80 80 100
B 70 100 150 200 250
D 113.5 151.6 202.4 253.2 306
n—E 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 14 14 14 16 23
G 92.1 130.2 181 231.8 284
H 314.5 314.5 401.5 541 654
J 150 150 192 254 305
L 271.5 271.5 271.5 288.5 288.5
M 105 105 105 116 120
Q 174 174 174 192 196
R 110 110 110 140 140
T 180 180 235 308 380
U 158 158 210 284 348
V 60 60 60 60 72
W 79 79 99 135 165

注1.　上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。
注2.　型式の(　)内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.　口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.　バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

MEX-JIS-LD-AZBrシリーズ寸法図

MEX-JIS-LD-AZBrシリーズ寸法図
単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 350 400
商品コード 16709□□ 16710□□ 16711□□ 16712□□ 16713□□ 16714□□ 16714□□ 16715□□
型式 MEX-80JIS-LD-AZBr-□□ MEX-100JIS-LD-AZBr-□□ MEX-150JIS-LD-AZBr-□□ MEX-200JIS-LD-AZBr-□□ MEX-250JIS-LD-AZBr-□□ MEX-300JIS-LD-AZBr-□□ MEX-350JIS-LD-AZBr-□□ MEX-400JIS-LD-AZBr-□□
A 70 70 80 80 85 85 100 100
B 80 100 150 200 250 300 350 400
D 160 185 235 300 350 400 450 520
n—E 4-M10 8-M10 8-M10 8-M12 12-M12 12-M12 12-M12 12-M16
F 14 14 14 15 16 16 18 18
G 135 160 210 270 320 370 420 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 916 1023
J 150 150 192 254 305 356 433 483
L 317.5 317.5 317.5 334.5 334.5 334.5 334.5 334.5
M 105 105 105 116 120 121 128 129
Q 174 174 174 192 196 197 204 205
R 110 110 110 140 140 140 140 140
T 180 180 235 308 380 430 512 560
U 158 158 210 284 348 402 480 528
V 60 60 60 60 72 72 80 82
W 79 79 99 135 165 190 231 255

注1.　上記は、旧JIS B2290 真空装置用フランジに準拠したフランジです。
注2.　型式の(　)内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.　口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.　バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

MEX-ISO-LD-AZBrシリーズ寸法図

MEX-ISO-LD-AZBrシリーズ寸法図
単位:mm
口径 80 100 150 200 250 300 400
商品コード 16767□□ 16768□□ 16770□□ 16771□□ 16772□□ 16773□□ 16774□□
型式 MEX-80ISO-LD-AZBr-□□ MEX-100ISO-LD-AZBr-□□ MEX-150ISO-LD-AZBr-□□ MEX-200ISO-LD-AZBr-□□ MEX-250ISO-LD-AZBr-□□ MEX-300ISO-LD-AZBr-□□ MEX-400ISO-LD-AZBr-□□
A 70 70 80 80 85 85 100
B 80 100 150 200 250 300 400
C 83 102 153 213 261 318 400
D 145 165 225 285 335 425 510
n—E 8-M8 8-M8 8-M10 12-M10 12-M10 12-M12 16-M12
F 14 14 14 15 16 16 18
G 125 145 200 260 310 395 480
H 314.5 314.5 401.5 541 654 752 1023
J 150 150 192 254 305 356 483
L 317.5 317.5 317.5 334.5 334.5 334.5 334.5
M 105 105 105 116 120 121 129
Q 174 174 174 192 196 197 205
R 110 110 110 140 140 140 140
T 180 180 235 308 380 430 560
U 158 158 210 284 348 402 528
V 60 60 60 60 72 72 82
W 79 79 99 135 165 190 255

注1.　上記は、ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2.　型式の(　)内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.　口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.　バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

MEX-CF-LD-AZBrシリーズ寸法図

MEX-CF-LD-AZBrシリーズ寸法図
単位:mm
口径 70 100 150 200 250
商品コード 16743□□ 16744□□ 16745□□ 16746□□ 16747□□
型式 MEX-70CF-LD-AZBr-□□ MEX-100CF-LD-AZBr-□□ MEX-150CF-LD-AZBr-□□ MEX-200CF-LD-AZBr-□□ MEX-250CF-LD-AZBr-□□
CFフランジ呼び CF114 CF152 CF203 CF253 CF305
A 70 70 80 80 100
B 70 100 150 200 250
D 113.5 151.6 202.4 253.2 306
n—E 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 14 14 14 16 23
G 92.1 130.2 181 231.8 284
H 314.5 314.5 401.5 541 654
J 150 150 192 254 305
L 317.5 317.5 317.5 334.5 334.5
M 105 105 105 116 120
Q 174 174 174 192 196
R 110 110 110 140 140
T 180 180 235 308 380
U 158 158 210 284 348
V 60 60 60 60 72
W 79 79 99 135 165

注1.　上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。
注2.　型式の(　)内はモータ位置タイプが入ります。（3位置より選択）
注3.　口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。
注4.　バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

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