電磁真空バルブ〈真空パイロット方式〉 ELV・EBV シリーズ

ELV・EBV シリーズ

電磁真空バルブ〈真空パイロット方式〉

  1. バルブの片側は袋ナット方式で取付フランジは各種とりそろえてありますからご利用下さい。
  2. 両端NW25フランジ付の仕様は、ELV-2NW25W, EBV-1NW25Wをご指定下さい。

ELV・EBV シリーズの主な仕様

品 名 電磁真空バルブ
型 式 ELV-2 ELV-2F ELV-2NW25
ELV-2NW25W
EBV-1 EBV-1F EBV-1NW25
EBV-1NW25W
口 径(mm) φ25
作動方式 真空パイロット方式バネ復帰
開放コンダクタンス(L/s) 6.8 1.3×10 1.3×10 6.8 1.3×10 1.3×10
リーク量(Pa・m3/s) 1×10-8以下(バルブ本体部)
使用領域(Pa) 大気圧 ~ 10-1 大気圧 ~ 10-4
材質 本体 SUS304
パッキン 二トリルOリング
軸シール 二トリルOリング
電磁弁 定格電圧 AC100V , AC200V , DC24Vから選択
消費電力 4 W
特記仕様
  • リークバルブ機能を内蔵し、電源のON・OFFで時間差をもってバルブが開閉します。
  • 電源ON(油回転ポンプ始動)でリークバルブ閉鎖・その後バルブ開。
  • 電源OFF(油回転ポンプ停止)でバルブ閉鎖・その後リークバルブ開放。

電源のON、OFFのみでバルブが開閉します。リークバルブ機能がありませんから大気圧がバルブ内に入ることがありません。

取扱い留意点
油回転ポンプに直接取付けるか、油拡散ポンプおよびターボ分子ポンプの背圧側と油回転ポンプの間に取り付け、電源は油回転ポンプと連動させて下さい。
バルブの取付け姿勢に制限はありませんが、真空ポンプ側と被排気側の接続を間違えないようにして下さい。
真空ポンプ接続穴をナイロンパイプなどで油回転ポンプと接続して真空に引き、電源をONにするとバルブは開放し、O F Fにするとスプリング力により閉鎖します。真空に引いていないと開放しません。

ELV シリーズ

ELV シリーズ
単位(mm)
型 式 A B PCD T t d
ELV-2F50 36 50 42 8 0.15 5
ELV-2F70 42 70 50 8 0.2 7
ELV-2F80 48 80 60 10 0.2 10
ELV-2F90 58 90 70 10 0.2 10
994-0011

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

EBV シリーズ

EBV シリーズ
単位(mm)
型 式 A B PCD T t d
EBV-1F50 36 50 42 8 0.15 5
EBV-1F70 42 70 50 8 0.2 7
EBV-1F80 48 80 60 10 0.2 10
EBV-1F90 58 90 70 10 0.2 10
034-0159

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。