電磁真空バルブ〈真空パイロット方式〉 ELV・EBV シリーズ
電磁真空バルブ〈真空パイロット方式〉
- バルブの片側は袋ナット方式で取付フランジは各種とりそろえてありますからご利用下さい。
- 両端ＮＷ25フランジ付の仕様は、ELV-2NW25W, EBV-1NW25Wをご指定下さい。
ELV・EBV シリーズの主な仕様
| 品 名 | 電磁真空バルブ | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型 式 | ＥＬＶ－２ | ＥＬＶ－２Ｆ | ＥＬＶ－２ＮＷ２５ ＥＬＶ－２ＮＷ２５ｗ |
ＥＢＶ－１ | ＥＢＶ－１Ｆ | ＥＢＶ－１ＮＷ２５ ＥＢＶ－１ＮＷ２５ｗ |
|
| 口 径（mm） | φ２５ | ||||||
| 作動方式 | 真空パイロット方式バネ復帰 | ||||||
| 開放ｺﾝﾀﾞｸﾀﾝｽ(L/s) | ６．８ | １．３×１０ | １．３×１０ | ６．８ | １．３×１０ | １．３×１０ | |
| ﾘｰｸ量(Pa・m3/s) | １×１０-8以下（バルブ本体部） | ||||||
| 使用領域(Pa) | 大気圧 ～ １０-1 | 大気圧 ～ １０-4 | |||||
| 材質 | 本体 | ＳＵＳ３０４ | |||||
| ﾊﾟｯｷﾝ | 二トリルＯリング | ||||||
| 軸ｼｰﾙ | 二トリルＯリング | ||||||
| 電磁弁 | 定格電圧 | ＡＣ１００Ｖ , ＡＣ２００Ｖ , ＤＣ２４Ｖから選択 | |||||
| 消費電力 | ４ Ｗ | ||||||
| 特記仕様 |
|
電源のＯＮ、ＯＦＦのみでバルブが開閉します。リークバルブ機能がありませんから大気圧がバルブ内に入ることがありません。 | |||||
| 取扱い留意点 |
油回転ポンプに直接取付けるか、油拡散ポンプおよびターボ分子ポンプの背圧側と油回転ポンプの間に取り付け、電源は油回転ポンプと連動させて下さい。
バルブの取付け姿勢に制限はありませんが、真空ポンプ側と被排気側の接続を間違えないようにして下さい。 |
真空ポンプ接続穴をナイロンパイプなどで油回転ポンプと接続して真空に引き、電源をＯＮにするとバルブは開放し、O F Ｆにするとスプリング力により閉鎖します。真空に引いていないと開放しません。 | |||||
※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
ELV シリーズ
| 単位（ｍｍ） | ||||||
| 型 式 | A | B | PCD | T | t | d |
| ELV-2F50 | 36 | 50 | 42 | 8 | 0.15 | 5 |
| ELV-2F70 | 38 | 70 | 50 | 8 | 0.2 | 10 |
| ELV-2F80 | 48 | 80 | 60 | 10 | 0.2 | 10 |
| ELV-2F90 | 58 | 90 | 70 | 10 | 0.2 | 10 |
EBV シリーズ
| 単位（ｍｍ） | ||||||
| 型 式 | A | B | PCD | T | t | d |
| EBV-1F50 | 36 | 50 | 42 | 8 | 0.15 | 5 |
| EBV-1F70 | 38 | 70 | 50 | 8 | 0.2 | 10 |
| EBV-1F80 | 48 | 80 | 60 | 10 | 0.2 | 10 |
| EBV-1F90 | 58 | 90 | 70 | 10 | 0.2 | 10 |