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New Product 【RoHS対応】

PATENTED

モータ駆動バタフライバルブ 

MBV-LDⅡ-MP シリーズ

  

長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

1.長寿命  50万~100万サイクル

2.低価格  低価格で自動圧力制御ができます。

3.高性能  高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用

4.高機能  フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。

         モータ位置を選択できます。(4位置)

 

  ◇ 選べる4つのタイプ ◇
MBV-LD-MP-R

 MBV-LD-MP-R

MBV-LD-MP-L

 MBV-LDⅡ-MP-R

 MBV-LDⅡ-MP-L

 MBV-LD-MP-F

 MBV-LD-MP-B

 MBV-LDⅡ-MP-F

 MBV-LDⅡ-MP-B

 

【 特徴 】

◇    フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。

◆    差圧状態(真空-大気圧)からオープンさせることができます。

◇    高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。

◆    全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。

       ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。

◇    制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。

◆    角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。

◇    モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペース

       を有効活用できます。

◆    フルクローズ(全閉)位置検出用フォトセンサを標準装備

 

主な仕様

フランジ形式 JIS ・  ISO ・ CF ・ NW 口   径 25A ~  250A
リーク量 1×10-9 Pa・m/s 以下 電源仕様 動力:DC 24V(最大 3.0A )制御:DC 24V(最大 0.2A )
使用領域 10 ~ 10-6 Pa
ディスクシール バイトンOリング 制御方式 ACサーボ方式
軸シール バイトンOリング2段 接ガス部材質 SUS304

 

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。

 

システムの構成

※バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。

※オプション品につきましては、別紙「購入ガイド」にてご確認下さい。

 

標準以外のモータ対応について

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。

対応例 : 三菱電機製 ACサーボモータ MR-J3シリーズ等

 

 

単位:mm

型式 MBV-1LDⅡ-MP-( ) MBV-2LDⅡ-MP-( ) MBV-2.5LDⅡ-MP-( ) MBV-3LDⅡ-MP-( ) MBV-4LDⅡ-MP-( ) MBV-6LDⅡ-MP-( ) MBV-8LDⅡ-MP-( ) MBV-10LDⅡ-MP-( )
商品  コード 10705□□ 10707□□ 10708□□ 10709□□ 10710□□ 10711□□ 10712□□ 10713□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 58 88 105 120 145 190 250 302
D 90 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320
G 32 51 64 79 101 154 206 253
H 230.5 260.5 285.5 300.5 325.5 389 456.5 506.5
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 55 55 49 49 55 70 85 85
L 245 245 246 246 246.5 264 292 292.5
M 40 70 85 100 120 175 225 275
N 5 5 5 5 5 5 8 8
P V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275
Q 100 100 100 100 100 110 110 110
R 22 22

MBV-JIS LDⅡ-MP  シリーズ寸法図

注1.上記は、旧JIS B2290 真空装置用フランジに準拠したフランジです。

注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

                                                                      

 

 

単位:mm

型式 MBV-ISO40LDⅡ-MP-( ) MBV-ISO50LDⅡ-MP-( ) MBV-ISO63LDⅡ-MP-( ) MBV-ISO80LDⅡ-MP-( ) MBV-ISO100LDⅡ-MP-( ) MBV-ISO160LDⅡ-MP-( ) MBV-ISO200LDⅡ-MP-( ) MBV-ISO250LDⅡ-MP-( )
商品    コード 10765□□ 10766□□ 10767□□ 10767□□ 10768□□ 10770□□ 10771□□ 10772□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ7 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 20 45 59 74 97 144 199 249
H 260.5 260.5 285.5 300.5 325.5 389 456.5 506.5
J 130.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 55 55 49 49 55 70 85 85
L 245 245 246 246 246.5 264 292 292.5
Q 100 100 100 100 100 110 110 110
R 22 22

MBV-ISO LDⅡ-MP  シリーズ寸法図

注1.上記は、ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

 

単位:mm

型式 MBV-CF40LDⅡ-MP-( ) MBV-CF63LDⅡ-MP-( ) MBV-CF100LDⅡ-MP-( ) MBV-CF160LDⅡ-MP-( ) MBV-CF200LDⅡ-MP-( ) MBV-CF250LDⅡ-MP-( )
商品   コード 10740□□ 10742□□ 10744□□ 10745□□ 10746□□ 10747□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 102 155 208 257
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 20 45 97 144 199 249
H 230.5 260.5 325.5 389 456.5 506.5
J 115.5 130.5 163 194 229 254
K 55 55 55 70 85 85
L 245 245 246.5 264 292 292.5
Q 100 100 100 110 110 110
R 22 22

MBV-CF LDⅡ-MP  シリーズ寸法図

注1.上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakabule flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。

注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

注3.CF40には、漏れ探し溝はありません。

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 

単位:mm

型式 MBV-NW40LDⅡ-MP-( ) MBV-NW50LDⅡ-MP-( ) MBV-NW63LDⅡ-MP-( ) MBV-NW80LDⅡ-MP-( ) MBV-NW100LDⅡ-MP-( ) MBV-NW160LDⅡ-MP-( )
商品  コード 10724□□ 10725□□ 10726□□ 10727□□ 10728□□ 10730□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 65 80 102 155
D 55 75 87 114 134 190
G 0 25 56 44 78 143
H 215.5 239.5 259 280.5 306 368.5
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194
K 55 55 49 49 55 70
L 245 245 246 246 246.5 264
Q 100 100 100 100 100 110

MBV-NWLDⅡ-MP  シリーズ寸法図

 

1.取付は弊社マルチクランプを御使用下さい。弊社以外のクランプを使用の場合には、

  クランプの形状によりバルブが取付かない場合があります。

注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

※本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

 


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