モータ駆動・コンパクトゲートバルブ MEX-LD-MPシリーズ

MEX-LD-MPシリーズ

当社オリジナルの駆動方式により、コンパクトでコストパフォーマンスに優れたゲートバルブです。

  1. 低価格  低価格で自動圧力制御ができます。
  2. 高性能  高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用
  3. 高機能  フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。

モータ位置を選択できます。(3位置)

選べる3つのタイプ

MEX-LD-MP-R

MEX-LD-MP-L

MEX-LD-MP-F

  • フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来ます。
  • 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
  • 全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。
    ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。
  • 制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。
  • 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
  • モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。
  • オプションで全閉・全開位置検出用フォトセンサを装備できます。

標準以外のモータ対応について

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。
対応例 :
三菱電機製 ACサーボモータ MR-J3シリーズ等
安川電機製 ACサーボモータ ΣーVシリーズ、Σー7シリーズ等

MEX-LD-MPシリーズの主な仕様

フランジ形式 JIS・ISO・CF
リーク量 ハウジング 1×10⁻¹¹ Pa m³/s 以下
バルブシート 1×10⁻¹⁰ Pa m³/s 以下
使用領域 10~10⁻⁶ Pa
ステムシール バイトンOリング
口径 70~400(mm)
電源仕様 動力 DC24V(最大 3.0A )
制御 DC24V(最大 0.2A)
制御方式 ACサーボ方式
主要材質 SUS304

※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。

※ 口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合わせください。

システムの構成

システムの構成

※バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。

※オプション品につきましては、別紙「購入ガイド」にてご確認下さい。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MEX-JIS-LD-MP シリーズ寸法図

MEX-JIS-LD-MP  シリーズ寸法図

単位:mm

型式

MEX-80JIS-LD-MP-( )

MEX-100JIS-LD-MP-( )

MEX-150JIS-LD-MP-( )

MEX-200JIS-LD-MP-( )

MEX-250JIS-LD-MP-( )

MEX-300JIS-LD-MP-( )

MEX-350JIS-LD-MP-( )

MEX-400JIS-LD-MP-( )

口径

80

100

150

200

250

300

350

400

商品コード

16709□□

16710□□

16711□□

16712□□

16713□□

16714□□

16714□□

16715□□

A

70

70

80

80

85

85

100

100

B

80

100

150

200

250

300

350

400

D

160

185

235

300

350

400

450

520

n—E

4-M10

8-M10

8-M10

8-M12

12-M12

12-M12

12-M12

12-M16

F

14

14

14

15

16

16

18

18

G

135

160

210

270

320

370

420

480

H

311.5

311.5

398.5

541

654

752

916

1023

J

150

150

192

254

305

356

433

483

L

245

245

245

262

262

262

289.5

289.5

M

105

105

105

116

120

121

106

107

Q

174

174

174

192

196

197

204

205

R

110

110

110

140

140

140

140

140

T

180

180

235

308

380

430

512

560

U

158

158

210

284

348

402

480

528

V

60

60

60

60

72

72

80

82

W

79

79

99

135

165

190

231

255

注1.上記は、旧JIS B2290 真空装置用フランジに準拠したフランジです。

注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(3位置より選択)

注3.口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。

注4.バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MEX-ISO-LD-MP シリーズ寸法図

MEX-ISO-LD-MP  シリーズ寸法図

単位:mm

型式

MEX-80ISO-

LD-MP-( )

MEX-100ISO-

LD-MP-( )

MEX-150ISO-

LD-MP-( )

MEX-200ISO-

LD-MP-( )

MEX-250ISO-

LD-MP-( )

MEX-300ISO-

LD-MP-( )

MEX-400ISO-

LD-MP-( )

口径

80

100

150

200

250

300

400

商品コード

16767□□

16768□□

16770□□

16771□□

16772□□

16773□□

16774□□

A

70

70

80

80

85

85

100

B

80

100

150

200

250

300

400

C

83

102

153

213

261

318

400

D

145

165

225

285

335

425

510

n—E

8-M8

8-M8

8-M10

12-M10

12-M10

12-M12

16-M12

F

14

14

14

15

16

16

18

G

125

145

200

260

310

395

480

H

311.5

311.5

398.5

541

654

752

1023

J

150

150

192

254

305

356

483

L

245

245

245

262

262

262

289.5

M

105

105

105

116

120

121

107

Q

174

174

174

192

196

197

205

R

110

110

110

140

140

140

140

T

180

180

235

308

380

430

560

U

158

158

210

284

348

402

528

V

60

60

60

60

72

72

82

W

79

79

99

135

165

190

255

注1.上記は、ISO 1609 Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。

注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(3位置より選択)

注3.口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。

注4.バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MEX-CF-LD-MP シリーズ寸法図

MEX-CF-LD-MP  シリーズ寸法図

単位:mm

型式

MEX-70CF-

LD-MP-( )

MEX-100CF-

LD-MP-( )

MEX-150CF-

LD-MP-( )

MEX-200CF-

LD-MP-( )

MEX-250CF-

LD-MP-( )

口径

70

100

150

200

250

商品コード

16743□□

16744□□

16745□□

16746□□

16747□□

CFフランジ呼び

CF114

CF152

CF203

CF253

CF305

A

70

70

80

80

100

B

70

100

150

200

250

D

113.5

151.6

202.4

253.2

306

n—E

8-M8

16-M8

20-M8

24-M8

32-M8

F

14

14

14

16

23

G

92.1

130.2

181

231.8

284

H

311.5

311.5

398.5

541

654

J

150

150

192

254

305

L

245

245

245

262

262

M

105

105

105

116

120

Q

174

174

174

192

196

R

110

110

110

140

140

T

180

180

235

308

380

U

158

158

210

284

348

V

60

60

60

60

72

W

79

79

99

135

165

注1.上記は、ISO 3669 Vacuum technology-Bakable flanges-Dimensionsに準拠したフランジです。

注2.型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(3位置より選択)

注3.口径によっては取付姿勢が限定されます。詳しくは営業までお問い合せください。

注4.バルブ取付用ネジはフランジのネジ深さ以上ネジ込まないように注意してください。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MP 共通オプション

  • 1.MOT/ENC 延長ケーブル(セット)

    バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。
    型 式 長さ(L)
    MOT/ENC延長ケーブル_4122202 (1m) 1m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122204 (2m) 2m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122206 (3m) 3m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122208 (4m) 4m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122210 (5m) 5m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122218 (9m) 9m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122220 (10m) 10m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122230 (15m) 15m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122240 (20m) 20m
    ( MOT )モータ延長ケーブル
    ( ENC ) エンコーダ延長ケーブル
  • 2.パラレル接続ケーブル

    サーボアンプに電源を供給するためのケーブルです。
    型 式 長さ(L)
    パラレル接続ケーブル_4122306 (3m) 3m
    パラレル接続ケーブル_4122310 (5m) 5m
    パラレル接続ケーブル_4122320 (10m) 10m
  • 3.-1PCソフト(セット)

    【PCソフト 標準セット付属品】 ① ADP-1(変換アダプタ) ② ADP-2-4(コネクタ変換機) ③ SIOケーブル(1m) ④ ADPケーブル(1m)
    型 式 備 考
    TBVST-FT-JP-SET_4122042 日本語表示
    TBVST-FT-EN-SET_4122044 英語表示

    標準セット付属ケーブル(1m)で接続長さ不足の場合は、下記ケーブル長さを選定して下さい。(別売品)

    SIOケーブル
    型 式 長さ(L)
    SIOケーブル_4120604 (2m) 2m
    SIOケーブル_4120606 (3m) 3m
    SIOケーブル_4120610 (5m) 5m
    ADPケーブル
    型 式 長さ(L)
    ADPケーブル_4122406 (3m) 3m
    ADPケーブル_4122410 (5m) 5m
    ADPケーブル_4122420 (10m) 10m
  • 3.-2ティーチングボックス

    【ティーチングボックス 標準セット付属品】 ① ADPケーブル (1m)
    型 式 備 考
    CTA-23-SET_4122070 デジタル表示

    標準セット付属ケーブル(1m)で接続長さ不足の場合は、下記ケーブル長さを選定して下さい。(別売品)

    ADPケーブル
    型 式 長さ(L)
    ADPケーブル_4122406 (3m) 3m
    ADPケーブル_4122410 (5m) 5m
    ADPケーブル_4122420 (10m) 10m