モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDⅡ-MPシリーズ

MBV-LDⅡ-MPシリーズ

長寿命・低価格・高性能・多彩な開閉動作が可能なバタフライバルブです。

  1. 長寿命  50万~100万サイクル
  2. 低価格  低価格で自動圧力制御ができます。
  3. 高性能  高性能サーボモータ及び新ドライブ機構を採用
  4. 高機能  フルクローズ・多段位置制御・自動圧力制御ができます。

モータ位置を選択できます。(4位置)


MBV-LD-MP-R

MBV-LD-MP-L

MBV-LD-MP-F

BV-LD-MP-B

特徴

  • フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。
  • 差圧状態(真空~大気圧)からオープンさせることができます。
  • 高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。
  • 全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。
    ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。
  • 制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。
  • 角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。
  • モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。
  • フルクローズ(全閉)位置検出用フォトセンサを標準装備

標準以外のモータ対応について

標準モータ以外のサーボモータ等、貴社設備使用環境に応じたモータへの変更もご相談させていただきます。
対応例 :
三菱電機製 ACサーボモータ MR-J3シリーズ、MR-J4シリーズ等
安川電機製  ACサーボ Σ-Vシリーズ、Σ-7シリーズ等

MBV-LDⅡ-MPシリーズの主な仕様

フランジ形式 JIS・ISO・CF・NW
リーク量 1×10⁻⁹ Pa・m³/s 以下
使用領域 10⁵ ~ 10⁻⁶ Pa
ディスクシール バイトンOリング
軸シール バイトンOリング2段
口径 25A ~ 300A
電源仕様 動力:DC 24V(最大 3.0A)
制御:DC  24V(最大 0.2A)
制御方式 ACサーボ方式
接ガス部材質 SUS304

※ 本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。
※ 特殊仕様品も製作可能ですからご相談ください。

システムの構成

システムの構成

※バルブユニットに含まれるもの(バルブ本体、サーボモータ、サーボアンプ)以外はオプションになります。
※オプション品につきましては、別紙「購入ガイド」にてご確認下さい。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

付属サーボアンプ寸法図

付属サーボアンプ寸法図

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-JIS LDⅡ-MPシリーズ寸法図

MBV-JIS LDⅡ-MPシリーズ寸法図
単位:mm
型式 MBV-1LDⅡ- MP-( ) MBV-2LDⅡ- MP-( ) MBV-2.5LDⅡ- MP-( ) MBV-3LDⅡ- MP-( ) MBV-4LDⅡ- MP-( ) MBV-6LDⅡ- MP-( ) MBV-8LDⅡ- MP-( ) MBV-10LDⅡ- MP-( ) MBV-12LDⅡ- MP-( )
商品コード 10705□□ 10707□□ 10708□□ 10709□□ 10710□□ 10711□□ 10712□□ 10713□□ 10714□□
A 20 20 20 20 20 26 40 40 45
B 34 52 65 80 102 155 208 257 307
C 58 88 105 120 145 190 250 302 352
D 90 120 145 160 185 235 300 350 400
n—E 4-φ10 4-φ10 4-φ12 4-φ12 8-φ12 8-φ12 8-φ15 12-φ15 12-φ15
F 70 100 120 135 160 210 270 320 370
G 32 51 64 79 101 154 206 253 303
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388 455 505 555
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254 279
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5 198.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85 85
M 245 245 246 246 246.5 264 292 292.5 292.5
P 40 70 85 100 120 175 225 275 325
Q 5 5 5 5 5 5 8 8 8
R 100 100 100 100 100 110 110 110 110
S 22 22 22
V V40 V70 V85 V100 V120 V175 V225 V275 V325

注1. 上記は、JIS B2290 真空装置用フランジ 附属書保守用フランジに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-ISO LDⅡ-MPシリーズ 寸法図

MBV-ISO LDⅡ-MPシリーズ 寸法図
単位:mm
型式 MBV- ISO40LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO50LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO63LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO80LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO100LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO160LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO200LDⅡ- MP-( ) MBV- ISO250LDⅡ- MP-( )
商品コード 10765□□ 10766□□ 10767□□ 10767□□ 10768□□ 10770□□ 10771□□ 10772□□
A 30 30 30 30 30 50 50 50
B 34 52 65 80 102 155 208 257
C 100 110 130 145 165 225 285 335
D 120 120 145 160 185 235 300 350
n—E 4-φ9 4-φ9 4-φ9 8-φ9 8-φ9 8-φ11 12-φ11 12-φ11
F 80 90 110 125 145 200 260 310
G 20 45 59 74 97 144 199 249
H 259 259 284.5 298.5 324 388 455 505
J 130.5 130.5 143 150.5 163 194 229 254
K 58.5 58.5 71.5 78 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 49 49 55 70 85 85
M 245 245 246 246 246.5 264 292 292.5
R 100 100 100 100 100 110 110 110
S 22 22

注1. 上記は、ISO1609Vacuum technology-Flange dimensionsに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV-CF LDⅡ-MPシリーズ 寸法図

MBV-CF LDⅡ-MPシリーズ 寸法図
単位:mm
型式 MBV- CF40LDⅡ- MP-( ) MBV- CF63LDⅡ- MP-( ) MBV- CF100LDⅡ- MP-( ) MBV- CF160LDⅡ- MP-( ) MBV- CF200LDⅡ- MP-( ) MBV- CF250LDⅡ- MP-( )
商品コード 10740□□ 10742□□ 10744□□ 10745□□ 10747□□ 10748□□
A 30 30 30 50 50 50
B 34 52 102 155 208 257
C 69.4 113.5 151.6 202.4 253.2 305.0
D 90 120 185 235 300 350
n—E 6-M6 8-M8 16-M8 20-M8 24-M8 32-M8
F 58.7 92.1 130.2 181 231.8 284
G 20 45 97 144 199 249
H 228.5 259 324 388 455 505
J 115.5 130.5 163 194 229 254
K 43 58.5 91 116.5 148.5 173.5
L 55 55 55 70 85 85
M 245 245 246.5 264 292 292.5
R 100 100 100 110 110 110
S 22 22

注1. 上記は、ISO/TS3669-2 Vacuum technology-Bakable flanges-Part2:Dimensions of knife-edge flangesに準拠したフランジです。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)
注3. CF40には、漏れ探し溝はありません。

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MBV- NWLDⅡ- MPシリーズ 寸法図

MBV- NWLDⅡ- MPシリーズ 寸法図
単位:mm
型式 MBV- NW40LDⅡ- MP-( ) MBV- NW50LDⅡ- MP-( ) MBV- NW63LDⅡ- MP-( ) MBV- NW80LDⅡ- MP-( ) MBV- NW100LDⅡ- MP-( ) MBV- NW160LDⅡ- MP-( )
商品コード 10724□□ 10725□□ 10726□□ 10727□□ 10728□□ 10730□□
A 40 40 40 60 60 66
B 34 52 65 80 102 155
D 55 75 87 114 134 190
G 0 25 56 44 78 143
H 228.5 259 284.5 298.5 324 388
J 115.5 130.5 143 150.5 163 194
K 43 58.5 71.5 78 91 116.5
L 55 55 49 49 55 70
M 245 245 246 246 246.5 264
R 100 100 100 100 100 110

注1. 取付は弊社マルチクランプをご使用下さい。弊社以外のクランプをご使用の場合には、クランプの形状によりバルブが取り付かない場合があります。
注2. 型式の( )内はモータ位置タイプが入ります。(4位置より選択)

本仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

MP 共通オプション

  • 1.MOT/ENC 延長ケーブル(セット)

    バルブとサーボアンプを接続するためのケーブルです。
    型 式 長さ(L)
    MOT/ENC延長ケーブル_4122202 (1m) 1m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122204 (2m) 2m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122206 (3m) 3m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122208 (4m) 4m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122210 (5m) 5m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122218 (9m) 9m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122220 (10m) 10m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122230 (15m) 15m
    MOT/ENC延長ケーブル_4122240 (20m) 20m
    ( MOT )モータ延長ケーブル
    ( ENC ) エンコーダ延長ケーブル
  • 2.パラレル接続ケーブル

    サーボアンプに電源を供給するためのケーブルです。
    型 式 長さ(L)
    パラレル接続ケーブル_4122306 (3m) 3m
    パラレル接続ケーブル_4122310 (5m) 5m
    パラレル接続ケーブル_4122320 (10m) 10m
  • 3.-1PCソフト(セット)

    【PCソフト 標準セット付属品】 ① ADP-1(変換アダプタ) ② ADP-2-4(コネクタ変換機) ③ SIOケーブル(1m) ④ ADPケーブル(1m)
    型 式 備 考
    TBVST-FT-JP-SET_4122042 日本語表示
    TBVST-FT-EN-SET_4122044 英語表示

    標準セット付属ケーブル(1m)で接続長さ不足の場合は、下記ケーブル長さを選定して下さい。(別売品)

    SIOケーブル
    型 式 長さ(L)
    SIOケーブル_4120604 (2m) 2m
    SIOケーブル_4120606 (3m) 3m
    SIOケーブル_4120610 (5m) 5m
    ADPケーブル
    型 式 長さ(L)
    ADPケーブル_4122406 (3m) 3m
    ADPケーブル_4122410 (5m) 5m
    ADPケーブル_4122420 (10m) 10m
  • 3.-2ティーチングボックス

    【ティーチングボックス 標準セット付属品】 ① ADPケーブル (1m)
    型 式 備 考
    CTA-23-SET_4122070 デジタル表示

    標準セット付属ケーブル(1m)で接続長さ不足の場合は、下記ケーブル長さを選定して下さい。(別売品)

    ADPケーブル
    型 式 長さ(L)
    ADPケーブル_4122406 (3m) 3m
    ADPケーブル_4122410 (5m) 5m
    ADPケーブル_4122420 (10m) 10m